VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง
ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ
คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
โครงสร้างคริสตัล | โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111) |
ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
ความแข็ง | ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม) |
เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
ความจุความร้อน | 640 เจ·กก.-1·K-1 |
อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
การนำความร้อน | 300W·m-1·K-1 |
การขยายความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ในฐานะผู้ผลิตและจำหน่ายแผ่นเวเฟอร์เคลือบ SiC ระดับมืออาชีพในประเทศจีน ตัวพาหะแผ่นเวเฟอร์เคลือบ SiC ของ Vetek Semiconductor ส่วนใหญ่จะถูกนำมาใช้เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอในการเจริญเติบโตของชั้นอีพิเทเชียล เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและความสมบูรณ์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อน รอคอยที่จะสอบถามของคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตมืออาชีพของ ALD Susceptor, การเคลือบ CVD SiC, ฐานกราไฟท์ CVD TAC COATING ในประเทศจีน Vetek Semiconductor พัฒนาและผลิตฐานดาวเคราะห์ ALD ที่เคลือบด้วย SiC ร่วมกับผู้ผลิตระบบ ALD เพื่อตอบสนองความต้องการระดับสูงของกระบวนการ ALD และกระจายการไหลของอากาศบนพื้นผิวอย่างสม่ำเสมอ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้ร่วมมือกับคุณต่อไป
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามในฐานะผู้ผลิตและจำหน่ายฝ้าเพดานเคลือบ CVD SiC ระดับมืออาชีพในประเทศจีน ฝ้าเพดานเคลือบ CVD SiC ของ VeTek Semiconductor มีคุณสมบัติที่ดีเยี่ยม เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ความแข็งสูง และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกวัสดุในอุดมคติในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้ร่วมมือกับคุณต่อไป
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือผู้ผลิตมืออาชีพของ MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor ในประเทศจีน MOCVD LED Epi Susceptor ของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาเพื่อการใช้งานอุปกรณ์ epitaxis ที่มีความต้องการสูง การนำความร้อนสูง ความเสถียรทางเคมี และความทนทานเป็นปัจจัยสำคัญที่ทำให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการเติบโตของอีปิเทกเซียลที่เสถียรและการผลิตฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้ร่วมมือกับคุณต่อไป
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์สารเคลือบ SiC ALD ระดับมืออาชีพในประเทศจีน สารเคลือบ SiC ALD ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสนับสนุนที่ใช้เป็นพิเศษในกระบวนการสะสมชั้นอะตอม (ALD) มีบทบาทสำคัญในอุปกรณ์ ALD ซึ่งรับประกันความสม่ำเสมอและความแม่นยำของกระบวนการสะสม เราเชื่อว่าผลิตภัณฑ์ ALD Planetary Susceptor ของเราสามารถนำเสนอโซลูชันผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงแก่คุณได้
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือผู้ผลิต ผู้ริเริ่ม และผู้นำด้านผลิตภัณฑ์ SiC Coating Epi Susceptor ในประเทศจีน เป็นเวลาหลายปีแล้วที่เรามุ่งเน้นไปที่ผลิตภัณฑ์การเคลือบ SiC ต่างๆ เช่น SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC เคลือบ ALD susceptor เป็นต้น VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอเทคโนโลยีขั้นสูงและโซลูชันผลิตภัณฑ์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรม. ยินดีให้คำปรึกษาเพิ่มเติม
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม