จีน ซิลิคอนไนไตรด์ ผู้ผลิต, ผู้จำหน่าย, โรงงาน

VeTek Semiconductor มุ่งเน้นไปที่การผลิตซิลิคอนไนไตรด์ และมีทีมวิจัยและพัฒนาที่ประกอบด้วยผู้เชี่ยวชาญอาวุโสและผู้ที่มีความสามารถด้านเทคนิคชั้นนำ เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีข้อดีคือมีความแข็ง ทนความร้อน ทนต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนของวัสดุเซรามิกทั่วไป และมีข้อดีคือ ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดี ทนต่อการคืบคลานที่อุณหภูมิสูง หล่อลื่นตัวเองได้ดี และมีเสถียรภาพทางเคมีที่ดี และแพร่หลาย ใช้ในสาขาพลังงานใหม่ อุตสาหกรรมเคมี การบินและอวกาศ และเซมิคอนดักเตอร์

วัสดุซิลิคอนไนไตรด์ของ VeTek Semiconductor มีข้อดีที่โดดเด่นดังต่อไปนี้:

1. ความเสถียรทางเคมีที่ดีเยี่ยม

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีความเสถียรทางเคมีที่ดีเยี่ยม และสามารถทนทานต่อกรดแก่ ด่าง และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้หลายชนิด ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักจะต้องจัดการกับสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์สามารถให้การรับประกันประสิทธิภาพที่มั่นคงในระยะยาว

2. คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีความแข็งสูง กำลังรับแรงอัดที่ดีเยี่ยม และทนต่อการสึกหรอ สามารถทนต่อความเครียดทางกลและการสึกหรอของพื้นผิวได้ ไม่เสียรูปหรือแตกง่าย สมบัติทางกลนี้ทำให้เหมาะมากเป็นวัสดุสำหรับชิ้นส่วนโครงสร้างและกระบวนการในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

3. ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์สามารถรักษาเสถียรภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ไม่ทำให้นิ่มหรือละลายได้ง่าย และสามารถทนต่อการประมวลผลและการจัดการที่อุณหภูมิสูงในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้สามารถใช้ในการผลิตส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์กระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง เช่น มือจับ ส่วนประกอบของห้องปฏิกิริยา และอื่นๆ

4. คุณสมบัติเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยม

คุณสมบัติของฉนวนมีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีคุณสมบัติเป็นฉนวนที่ดี ซึ่งสามารถแยกและป้องกันส่วนประกอบของวงจรจากการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าหรือการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยปรับปรุงเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

5. การนำความร้อนและการนำความร้อน

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีค่าการนำความร้อนสูง สามารถนำและกระจายความร้อนที่เกิดจากอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยรักษาเสถียรภาพอุณหภูมิของอุปกรณ์ในกระบวนการทำงาน นี่เป็นสิ่งสำคัญต่อการทำงานที่มีประสิทธิภาพสูงของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

การใช้งานวัสดุซิลิคอนไนไตรด์ของ VeTek Semiconductor ในอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่ประกอบด้วย:

1. หัวจับไฟฟ้าสถิตและส่วนประกอบห้องแกะสลัก

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มักถูกใช้เป็นวัสดุสำหรับหัวจับไฟฟ้าสถิตและส่วนประกอบของห้องแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีความเสถียรทางเคมีที่ดีเยี่ยมและทนต่ออุณหภูมิสูง หัวจับไฟฟ้าสถิตใช้เพื่อยึดและทำให้เวเฟอร์หรือซับสเตรตคงที่ ในขณะที่ส่วนประกอบของห้องกัดใช้เพื่อทนต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง

2.แผ่นจ่ายแก๊สและแผ่นสะท้อนแสง

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์ยังใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในแผ่นจ่ายก๊าซและตัวสะท้อนแสง แผ่นกระจายก๊าซใช้เพื่อกระจายก๊าซปฏิกิริยาหรือป้องกันเข้าไปในห้องปฏิกิริยาอย่างเท่าเทียมกัน ในขณะที่ตัวสะท้อนแสงถูกใช้เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายและการสะท้อนของแสงภายในห้องปฏิกิริยา เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพและความสม่ำเสมอของปฏิกิริยา

3. ตัวยึดและส่วนประกอบด้านความร้อน

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มักใช้เป็นตัวจับยึดและส่วนประกอบการจัดการความร้อนในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเหล่านี้จำเป็นต้องมีความแข็งแรงเชิงกล ความต้านทานการสึกหรอ และการนำความร้อนที่ดี เพื่อให้มั่นใจว่าการทำงานของอุปกรณ์มีเสถียรภาพและความแม่นยำในการประมวลผลอุปกรณ์

4. แผ่นขัดเงาด้วยสารเคมี (CMP)

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นวัสดุแผ่นในกระบวนการขัดเงาด้วยสารเคมี (CMP) มีความเรียบและทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม และสามารถให้การสนับสนุนที่มั่นคงในระหว่างกระบวนการขัดเงา เพื่อให้มั่นใจถึงความเรียบและความแม่นยำของพื้นผิวเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์