หัวจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ชั้นนำของผลิตภัณฑ์ Silicon Carbide Wafer Chuck ในประเทศจีน Silicon Carbide Wafer Chuck ของ VeTek Semiconductor มีบทบาทที่ไม่มีใครแทนที่ได้ในกระบวนการเติบโตของเยื่อบุผิว โดยมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้อย่างดีเยี่ยม ยินดีให้คำปรึกษาเพิ่มเติม

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

หัวจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor ใช้คุณสมบัติที่ดีเยี่ยมของวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความแม่นยำและความน่าเชื่อถือสูงมาก

ในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม (สามารถทำงานได้เสถียรที่สูงถึง 1,400°C) มีค่าการนำไฟฟ้าต่ำ (SiC มีค่าการนำไฟฟ้าค่อนข้างต่ำ โดยทั่วไปคือ 10^^-3S/m) และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ (ประมาณ 4.0 × 10^^-6/°C) ซึ่งเป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้และสำคัญ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตหัวจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวชั้นบางๆ ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์จะสะสมอยู่บนพื้นผิว ซึ่งต้องการความเสถียรสูงสุดจากเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าชั้นการสะสมฟิล์มมีความสม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง หัวจับสุญญากาศ SiC บรรลุเป้าหมายนี้ด้วยการสร้างการยึดสุญญากาศที่มั่นคงและสม่ำเสมอ เพื่อป้องกันการเคลื่อนที่หรือการเสียรูปของเวเฟอร์

นอกจากนี้ หัวจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ยังมีความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันอีกด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วเป็นเรื่องปกติในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และวัสดุที่ไม่สามารถทนต่อความผันผวนเหล่านี้อาจแตก งอ หรือเสียหายได้ ซิลิคอนคาร์ไบด์มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ และสามารถรักษารูปร่างและการทำงานได้แม้ภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่รุนแรง ทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์จะยังคงแน่นหนาในระหว่างกระบวนการ epitaxy โดยไม่มีการเคลื่อนไหวหรือการวางแนวที่ไม่ตรง

นอกจากนี้กระบวนการเยื่อบุผิวมักเกี่ยวข้องกับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาและสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนอื่นๆ ความเฉื่อยทางเคมีของ SiC Wafer Chuck ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่ได้รับผลกระทบจากสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเหล่านี้ โดยจะรักษาประสิทธิภาพและยืดอายุการใช้งาน ความทนทานต่อสารเคมีนี้ไม่เพียงแต่ลดความถี่ในการเปลี่ยน Wafer Chuck เท่านั้น แต่ยังรับประกันประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกันตลอดรอบการผลิตหลายรอบ ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพโดยรวมและความคุ้มค่าของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

VeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและจำหน่ายผลิตภัณฑ์ Silicon Carbide Wafer Chuck ชั้นนำในประเทศจีน เราสามารถจัดหาผลิตภัณฑ์ Chuck ได้หลากหลายประเภทเช่นหัวจับเซรามิก SiC ที่มีรูพรุน, หัวจับสุญญากาศ SiC ที่มีรูพรุน, หัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนและหัวจับเคลือบ TaCฯลฯ VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชั่นเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ขั้นสูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ข้อมูล SEM ของ ซีวีดีโครงสร้างคริสตัลฟิล์ม SIC：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE