เคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

วีเทค เซมิคอนดักเตอร์ เคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นสารเคลือบป้องกันประสิทธิภาพสูงที่ทำจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความแข็งมากและทนทานต่อการสึกหรอ ซึ่งให้ความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีที่ดีเยี่ยมและความเสถียรที่อุณหภูมิสูง คุณสมบัติเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ดังนั้นการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

บทบาทเฉพาะของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ของ Vetek Semiconductor ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือดังต่อไปนี้:

เพิ่มความทนทานของอุปกรณ์: การเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ให้การปกป้องพื้นผิวที่ดีเยี่ยมสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรอสูงมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนสูง เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการกัดด้วยพลาสมา การเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถป้องกันความเสียหายต่อพื้นผิวอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเนื่องจากการกัดเซาะของสารเคมีหรือการสึกหรอทางกายภาพ จึงช่วยยืดอายุการใช้งานของ อุปกรณ์และลดการหยุดทำงานที่เกิดจากการเปลี่ยนและบำรุงรักษาบ่อยครั้ง

ปรับปรุงความบริสุทธิ์ของกระบวนการ: ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การปนเปื้อนเล็กน้อยอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องของผลิตภัณฑ์ได้ ความเฉื่อยทางเคมีของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้ยังคงความเสถียรภายใต้สภาวะที่รุนแรง ป้องกันไม่ให้วัสดุปล่อยอนุภาคหรือสิ่งเจือปน และรับประกันความบริสุทธิ์ของสภาพแวดล้อมในระหว่างกระบวนการ นี่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับขั้นตอนการผลิตที่ต้องการความแม่นยำสูงและความสะอาดสูง เช่น PECVD และการฝังไอออน

เพิ่มประสิทธิภาพการจัดการระบายความร้อน: ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และกระบวนการออกซิเดชัน การนำความร้อนสูงของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทำให้มีการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอภายในอุปกรณ์ ซึ่งจะช่วยลดความเครียดจากความร้อนและการเสียรูปของวัสดุที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความแม่นยำและความสม่ำเสมอในการผลิตผลิตภัณฑ์

สนับสนุนสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ซับซ้อน: ในกระบวนการที่ต้องมีการควบคุมบรรยากาศที่ซับซ้อน เช่น กระบวนการกัด ICP และกัด PSS ความเสถียรและความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของเครื่องทำความร้อนเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่มั่นคงของอุปกรณ์ในการทำงานระยะยาว ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการเสื่อมสภาพของวัสดุหรืออุปกรณ์ ความเสียหายเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงสิ่งแวดล้อม

วีเทค เซมิคอนดักเตอร์มุ่งเน้นไปที่การผลิตและการจัดหาที่มีประสิทธิภาพสูงเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์และมุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชันเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ขั้นสูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน.

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์:

ร้านเคลือบเซรามิก VeTek Semiconductor ซิลิคอนคาร์ไบด์:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์: