จีน ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ผู้ผลิต, ผู้จำหน่าย, โรงงาน

โซลิดซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญในอุปกรณ์แกะสลักพลาสม่า ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (ซีวีดี ซิลิคอน คาร์ไบด์) ชิ้นส่วนในอุปกรณ์แกะสลักได้แก่วงแหวนปรับโฟกัส, หัวฝักบัวแก๊ส, ถาด, วงแหวนขอบ ฯลฯ เนื่องจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง (ซิลิกอนคาร์ไบด์ CVD) มีปฏิกิริยาและการนำไฟฟ้าต่ำต่อคลอรีน - และก๊าซกัดกร่อนที่มีฟลูออรีน จึงเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับอุปกรณ์กัดพลาสม่าที่เน้นวงแหวนและอื่น ๆ ส่วนประกอบ

ตัวอย่างเช่น วงแหวนโฟกัสเป็นส่วนสำคัญที่วางอยู่นอกเวเฟอร์และสัมผัสโดยตรงกับเวเฟอร์ โดยการใช้แรงดันไฟฟ้ากับวงแหวนเพื่อโฟกัสพลาสมาที่ผ่านวงแหวน จึงเน้นพลาสมาบนเวเฟอร์เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของ กำลังประมวลผล. วงแหวนโฟกัสแบบเดิมทำจากซิลิคอนหรือควอตซ์ซิลิคอนนำไฟฟ้าเป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสทั่วไป ซึ่งเกือบจะใกล้เคียงกับค่าการนำไฟฟ้าของเวเฟอร์ซิลิคอน แต่การขาดแคลนความต้านทานการแกะสลักในพลาสมาที่มีฟลูออรีนไม่ดี การแกะสลักวัสดุชิ้นส่วนเครื่องจักรที่มักใช้เป็นระยะเวลาหนึ่ง จะมีความร้ายแรง ปรากฏการณ์การกัดกร่อนทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลงอย่างมาก

Sวงแหวนโฟกัส SiC แบบโอลด์หลักการทำงาน：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

การเปรียบเทียบวงแหวนโฟกัสแบบ Si และวงแหวนโฟกัส CVD SiC：

การเปรียบเทียบวงแหวนโฟกัสแบบ Si และวงแหวนโฟกัส ซีวีดี SiC
รายการ	และ	ซีวีดี SiC
ความหนาแน่น (กรัม/ซม³)	2.33	3.21
ช่องว่างของแบนด์ (eV)	1.12	2.3
การนำความร้อน (W/cm°C)	1.5	5
ซีทีอี (x10^-6/ ℃)	2.6	4
โมดูลัสยืดหยุ่น (GPa)	150	440
ความแข็ง (GPa)	11.4	24.5
ความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน	ยากจน	ยอดเยี่ยม

VeTek Semiconductor นำเสนอชิ้นส่วนโซลิดซิลิคอนคาร์ไบด์ (CVD ซิลิคอนคาร์ไบด์) ขั้นสูง เช่น วงแหวนโฟกัส SiC สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ วงแหวนโฟกัสซิลิกอนคาร์ไบด์แข็งของเรามีประสิทธิภาพเหนือกว่าซิลิกอนแบบดั้งเดิมในแง่ของความแข็งแรงเชิงกล ความทนทานต่อสารเคมี การนำความร้อน ความทนทานต่ออุณหภูมิสูง และความต้านทานการกัดกร่อนของไอออน

คุณสมบัติที่สำคัญของวงแหวนโฟกัส SiC ของเราประกอบด้วย:

ความหนาแน่นสูงเพื่อลดอัตราการแกะสลัก

ฉนวนที่ดีเยี่ยมพร้อม bandgap สูง

การนำความร้อนสูงและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

ทนต่อแรงกระแทกทางกลและความยืดหยุ่นที่เหนือกว่า

มีความแข็งสูง ทนต่อการสึกหรอ และทนต่อการกัดกร่อน

ผลิตโดยใช้การสะสมไอสารเคมีที่เสริมพลาสมา (PECVD)ด้วยเทคนิค วงแหวนโฟกัส SiC ของเราตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นของกระบวนการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบมาให้ทนทานต่อพลังงานและพลังงานพลาสม่าที่สูงขึ้น โดยเฉพาะในพลาสมาคู่แบบคาปาซิทีฟ (CCP)ระบบ

วงแหวนโฟกัส SiC ของ VeTek Semiconductor มอบประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เลือกส่วนประกอบ SiC ของเราเพื่อคุณภาพและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า

View as

หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์

VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายผลิตภัณฑ์หัวฝักบัวซิลิคอนคาร์ไบด์ชั้นนำในประเทศจีน หัวฝักบัว SiC มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงเป็นเลิศ มีเสถียรภาพทางเคมี การนำความร้อน และประสิทธิภาพในการกระจายก๊าซที่ดี ซึ่งสามารถกระจายก๊าซได้สม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม ดังนั้นจึงมักใช้ในกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง เช่น กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ยินดีให้คำปรึกษาเพิ่มเติม

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

แหวนซีลซิลิคอนคาร์ไบด์

ในฐานะผู้ผลิตผลิตภัณฑ์แหวนซีลซิลิคอนคาร์ไบด์มืออาชีพและโรงงานในประเทศจีน แหวนซีลซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากทนความร้อนได้ดีเยี่ยม ทนต่อการกัดกร่อน ความแข็งแรงเชิงกล และการนำความร้อน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับอุณหภูมิสูงและก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา เช่น CVD, PVD และการกัดด้วยพลาสมา และเป็นตัวเลือกวัสดุหลักในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีคำถามเพิ่มเติมของคุณยินดีต้อนรับ

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

CVD SiC Block สำหรับการเติบโตของ SiC Crystal

VeTek Semiconductor มุ่งเน้นไปที่การวิจัยและพัฒนาและอุตสาหกรรมของแหล่ง CVD-SiC จำนวนมาก, การเคลือบ CVD SiC และการเคลือบ CVD TaC ยกตัวอย่างบล็อก CVD SiC สำหรับ SiC Crystal Growth เทคโนโลยีการประมวลผลผลิตภัณฑ์มีความก้าวหน้า อัตราการเติบโตรวดเร็ว ทนต่ออุณหภูมิสูง และทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ยินดีต้อนรับสู่สอบถาม.

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

SiC Crystal Growth เทคโนโลยีใหม่

ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษของ Vetek Semiconductor ซึ่งเกิดจากการสะสมไอสารเคมี (CVD) สามารถใช้เป็นวัตถุดิบสำหรับการปลูกผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์โดยการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) ในเทคโนโลยีใหม่การเติบโตของคริสตัล SiC วัสดุต้นทางจะถูกโหลดลงในถ้วยใส่ตัวอย่างและระเหิดลงบนผลึกเมล็ด ใช้บล็อก CVD-SiC ที่ถูกทิ้งเพื่อรีไซเคิลวัสดุเป็นแหล่งสำหรับการปลูกผลึก SiC ยินดีต้อนรับสู่การสร้างความร่วมมือกับเรา

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

หัวฝักบัว CVD SiC

VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวฝักบัว CVD SiC ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในด้านวัสดุ SiC มาหลายปี หัวฝักบัว CVD SiC ได้รับเลือกให้เป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสเนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนเคมีที่ดีเยี่ยม ความแข็งแรงเชิงกลสูง และความต้านทานต่อ การพังทลายของพลาสมา เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

หัวฝักบัว SiC

VeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและผู้ริเริ่ม SiC หัวฝักบัวชั้นนำในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในด้านวัสดุ SiC มาหลายปี หัวฝักบัว SiC ได้รับเลือกให้เป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสเนื่องจากมีความเสถียรทางเทอร์โมเคมีที่ดีเยี่ยม ความแข็งแรงเชิงกลสูง และความต้านทานต่อการกัดเซาะของพลาสมา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

<1 2 >

ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง มืออาชีพในประเทศจีน เรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณจะต้องการบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณ หรือต้องการซื้อ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง ที่ทันสมัยและทนทานที่ผลิตในจีน คุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้