VeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและผู้ริเริ่ม SiC หัวฝักบัวชั้นนำในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในด้านวัสดุ SiC มาหลายปี หัวฝักบัว SiC ได้รับเลือกให้เป็นวัสดุวงแหวนโฟกัสเนื่องจากมีความเสถียรทางเทอร์โมเคมีที่ดีเยี่ยม ความแข็งแรงเชิงกลสูง และความต้านทานต่อการกัดเซาะของพลาสมา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
คุณสามารถมั่นใจได้ในการซื้อหัวฝักบัว SiC จากโรงงานของเรา
วัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์มีการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของคุณสมบัติทางความร้อน ไฟฟ้า และเคมีที่ยอดเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องใช้วัสดุประสิทธิภาพสูง
เทคโนโลยีปฏิวัติวงการของ VeTek Semiconductor ช่วยให้สามารถผลิตหัวฝักบัว SiC ซึ่งเป็นวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษที่สร้างขึ้นผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี
หัวฝักบัว SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับระบบ MOCVD, กระบวนการ epitaxy ของซิลิคอน และกระบวนการ SiC epitaxy ส่วนประกอบนี้ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่ทนทาน ส่วนประกอบนี้สามารถทนต่อสภาวะที่รุนแรงของการแปรรูปพลาสมาและการใช้งานที่อุณหภูมิสูง
ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขึ้นชื่อในด้านการนำความร้อนสูง ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับส่วนประกอบ SiC จำนวนมาก เช่น หัวฝักบัว SiC หัวฝักบัวแก๊สช่วยให้แน่ใจว่าก๊าซในกระบวนการกระจายตัวบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตชั้นเอปิแอกเชียลคุณภาพสูง วงแหวนโฟกัสและวงแหวนขอบ มักทำจาก CVD-SiC รักษาการกระจายตัวของพลาสมาสม่ำเสมอ และปกป้องห้องเพาะเลี้ยงจากการปนเปื้อน เพิ่มประสิทธิภาพและผลผลิตของการเติบโตของเยื่อบุผิว
ด้วยการควบคุมการไหลของก๊าซที่แม่นยำและคุณสมบัติของวัสดุที่โดดเด่น หัวฝักบัว SiC จึงเป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ รองรับการใช้งานขั้นสูงในซิลิคอนเอพิแทกซีและ SiC เอพิแทกซี
VeTek Semiconductor มีหัวฝักบัวเซมิคอนดักเตอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาผนึกความต้านทานต่ำ เรามีความสามารถในการออกแบบตามสั่งและจัดหาวัสดุเซรามิกขั้นสูงโดยใช้ความสามารถเฉพาะตัวที่หลากหลาย
คุณสมบัติทางกายภาพของ Solid SiC | |||
ความหนาแน่น | 3.21 | กรัม/ซม3 | |
ความต้านทานไฟฟ้า | 102 | Ω/ซม | |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 590 | MPa | (6,000กก./ตร.ซม.) |
โมดูลัสของยัง | 450 | เกรดเฉลี่ย | (6,000กก./ตร.มม.) |
ความแข็งของวิคเกอร์ | 26 | เกรดเฉลี่ย | (2,650กก./ตร.มม.) |
CTE(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/เค | |
การนำความร้อน (RT) | 250 | W/mK |