หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

VeTek Semiconductor เป็นบริษัทบูรณาการที่อุทิศตนเพื่อการวิจัย การผลิต และการขาย ด้วยประสบการณ์กว่า 20 ปี ทีมงานของเราเชี่ยวชาญด้าน SiC, การเคลือบ TaC และ CVD Solid SiC ยินดีต้อนรับสู่การซื้อจากเรา หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC ของ VeTek Semiconductor มักใช้เพื่อกระจายก๊าซตั้งต้นบนพื้นผิวของสารตั้งต้นอย่างสม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการ CVD ของเซมิคอนดักเตอร์ การใช้วัสดุ CVD-SiC สำหรับหัวฝักบัวมีข้อดีหลายประการ ค่าการนำความร้อนสูงช่วยกระจายความร้อนที่เกิดขึ้นในกระบวนการ CVD ทำให้มั่นใจได้ถึงการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอบนพื้นผิว นอกจากนี้ ความคงตัวทางเคมีของหัวฝักบัว CVD sic ยังช่วยให้สามารถทนต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งมักพบในกระบวนการ CVD 

การออกแบบหัวฝักบัว CVD SiC สามารถปรับให้เข้ากับระบบ CVD และข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะได้ อย่างไรก็ตาม โดยทั่วไปแล้วจะประกอบด้วยแผ่นหรือส่วนประกอบที่มีรูปร่างคล้ายดิสก์ซึ่งมีรูหรือช่องที่เจาะอย่างแม่นยำหลายชุด รูปแบบรูและรูปทรงของรูได้รับการออกแบบอย่างระมัดระวังเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายก๊าซและความเร็วการไหลที่สม่ำเสมอบนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์

คุณสมบัติทางกายภาพของ Solid SiC