Vetek Semiconductor นำเสนอหัวจับเซรามิก Porous SiC ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในเทคโนโลยีการประมวลผลเวเฟอร์ การถ่ายโอนและการเชื่อมต่ออื่นๆ เหมาะสำหรับการติด การขีดเขียน การแพทช์ การขัดเงา และการเชื่อมต่ออื่นๆ การประมวลผลด้วยเลเซอร์ หัวจับเซรามิก SiC ที่มีรูพรุนของเรามีการดูดซับสุญญากาศที่แข็งแกร่งเป็นพิเศษ ความเรียบสูงและความบริสุทธิ์สูง ตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่ ยินดีต้อนรับสู่การสอบถามเรา
หัวจับเซรามิก Porous SiC ของ Vetek Semiconductor ได้รับการตอบรับอย่างดีจากลูกค้าจำนวนมากและมีชื่อเสียงที่ดีในหลายประเทศ หัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนของ Vetek Semiconductor มีการออกแบบที่มีลักษณะเฉพาะ & ประสิทธิภาพการใช้งานจริง และราคาที่แข่งขันได้ สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับหัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุน โปรดติดต่อเรา
Porous SiC Ceramic Chuck เรียกอีกอย่างว่าถ้วยสูญญากาศที่มีรูพรุนขนาดเล็ก ความพรุนทั่วไปสามารถปรับได้ถึงขนาด 2 ~ 100um หมายถึงกระบวนการผลิตผงนาโนพิเศษเพื่อผลิตทรงกลมที่เป็นของแข็งหรือสุญญากาศสม่ำเสมอผ่านการเผาที่อุณหภูมิสูงในวัสดุ สร้างวัสดุเซรามิกที่เชื่อมต่อหรือปิดจำนวนมาก ด้วยโครงสร้างพิเศษ มีข้อดีคือ ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ความแข็งแรงเชิงกลสูง การสร้างใหม่ได้ง่าย และทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ฯลฯ ซึ่งสามารถใช้สำหรับวัสดุกรองที่อุณหภูมิสูง ตัวพาตัวเร่งปฏิกิริยา มีรูพรุน อิเล็กโทรดของเซลล์เชื้อเพลิง ส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อน เมมเบรนแยก ไบโอเซรามิก ฯลฯ ซึ่งแสดงให้เห็นถึงข้อได้เปรียบในการใช้งานที่ไม่เหมือนใครในอุตสาหกรรมเคมี การคุ้มครองสิ่งแวดล้อม พลังงาน อิเล็กทรอนิกส์ ชีวเคมี และสาขาอื่น ๆ
หัวจับเซรามิก SiC ที่มีรูพรุน พบการใช้งานที่หลากหลายในกระบวนการแปรรูปและถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เหมาะสำหรับงานต่างๆ เช่น การติดกาว การขีดเขียน การติดแม่พิมพ์ การขัดเงา และการตัดเฉือนด้วยเลเซอร์
การปรับแต่ง: เราปรับแต่งส่วนประกอบให้เข้ากับรูปร่างและวัสดุของเวเฟอร์ของคุณอย่างสมบูรณ์แบบ รวมถึงอุปกรณ์เฉพาะและสภาพการทำงานของคุณ
ความแม่นยำของมิติ: เราสามารถบรรลุความแม่นยำของมิติเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดที่แน่นอนของคุณ ตัวอย่างเช่น เราสามารถผลิตหัวจับสำหรับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วที่มีความเรียบน้อยกว่า 3μm และสำหรับเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วที่มีความเรียบน้อยกว่า 5μm
ขนาดรูพรุนและความพรุน: หัวจับเซรามิกที่มีรูพรุนของเรามีขนาดรูพรุนตั้งแต่ 20-50μm และระดับความพรุนระหว่าง 35-55% ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพสูงสุดในการใช้งานการประมวลผลต่างๆ
ไม่ว่าคุณจะต้องการชิ้นส่วนเดียวสำหรับการประเมินหรือหัวจับแบบกำหนดเองสำหรับชิ้นงานหลายชิ้น เราทุ่มเทเพื่อตอบสนองความต้องการด้านมิติและวัสดุของคุณด้วยความแม่นยำและ
ความเป็นเลิศ โปรดติดต่อเราเพื่อสอบถามข้อมูลเพิ่มเติมหรือหารือเกี่ยวกับความต้องการเฉพาะของคุณ
ภาพผลิตภัณฑ์หัวจับเซรามิก SiC ที่มีรูพรุนภายใต้กล้องจุลทรรศน์
รายการคุณสมบัติเซรามิก SiC ที่มีรูพรุน | ||
รายการ | หน่วย | เซรามิก SiC ที่มีรูพรุน |
ความพรุน | หนึ่ง | 10-30 |
ความหนาแน่น | กรัม/ซม3 | 1.2-1.3 |
ความหยาบ | หนึ่ง | 2.5-3 |
ค่าการดูด | เคพีเอ | -45 |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | MPa | 30 |
การเหนี่ยวนำ | 1MHz | 33 |
อัตราการถ่ายเทความร้อน | W/(ม·K) | 60-70 |