VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง
ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ
คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
โครงสร้างคริสตัล | โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111) |
ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
ความแข็ง | ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม) |
เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
ความจุความร้อน | 640 เจ·กก.-1·K-1 |
อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
การนำความร้อน | 300W·m-1·K-1 |
การขยายความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิต EPI Wafer Lift Pin ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ SiC บนพื้นผิวของกราไฟท์มาหลายปี เราขอเสนอ EPI Wafer Lift Pin สำหรับกระบวนการ Epi ด้วยคุณภาพและราคาที่แข่งขันได้ เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor นำเสนอชุดโซลูชันส่วนประกอบที่ครอบคลุมสำหรับห้องปฏิกิริยา LPE ซิลิคอนเอพิแทกซี ซึ่งมีอายุการใช้งานยาวนาน คุณภาพคงที่ และผลผลิตชั้นเอพิแทกเซียลที่ได้รับการปรับปรุง ผลิตภัณฑ์ของเรา เช่น SiC Coated Barrel Susceptor ได้รับการตอบรับตำแหน่งจากลูกค้า เรายังให้การสนับสนุนทางเทคนิคสำหรับ Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy และอื่นๆ อีกมากมาย สามารถสอบถามข้อมูลราคาได้
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นโรงงานที่ผสมผสานการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำและความสามารถในการเคลือบ SiC และ TaC ของเซมิคอนดักเตอร์ Si Epi Susceptor ชนิดบาร์เรลให้ความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิและบรรยากาศ เพิ่มประสิทธิภาพการผลิตในกระบวนการเติบโตของเซมิคอนดักเตอร์ epitaxis รอคอยที่จะสร้างความสัมพันธ์ความร่วมมือกับคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามในฐานะผู้ผลิตซิลิคอนคาร์ไบด์และการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำในประเทศ VeTek Semiconductor สามารถให้การตัดเฉือนที่มีความแม่นยำและการเคลือบผิวที่สม่ำเสมอของ SiC Coated Epi Susceptor ซึ่งควบคุมความบริสุทธิ์ของการเคลือบและผลิตภัณฑ์ที่มีความเข้มข้นต่ำกว่า 5ppm ได้อย่างมีประสิทธิภาพ อายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์เทียบได้กับอายุการใช้งานของ SGL ยินดีต้อนรับสู่สอบถามเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและผู้ริเริ่มชุด LPE Si Epi Susceptor ชั้นนำในประเทศจีน เราเชี่ยวชาญด้านการเคลือบ SiC และการเคลือบ TaC มาหลายปี เราขอเสนอชุด LPE Si Epi Susceptor ที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับเวเฟอร์ LPE PE2061S 4'' ระดับที่ตรงกันของวัสดุกราไฟท์และการเคลือบ SiC นั้นดี ความสม่ำเสมอเป็นเลิศ และมีอายุการใช้งานยาวนาน ซึ่งสามารถปรับปรุงผลผลิตของการเติบโตของชั้น epitaxis ในระหว่างกระบวนการ LPE (Liquid Phase Epitaxy) เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราใน จีน.
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและผู้ริเริ่ม Aixtron G5 MOCVD Susceptors ชั้นนำในประเทศจีน เราเชี่ยวชาญด้านวัสดุเคลือบ SiC มาหลายปี เรามี Aixtron G5 MOCVD Susceptors ที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ Aixtron G5 MOCVD ชุด Susceptors Aixtron G5 MOCVD นี้เป็นโซลูชันอเนกประสงค์และมีประสิทธิภาพสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ด้วยขนาดที่เหมาะสม ความเข้ากันได้ และความสามารถในการผลิตสูง ยินดีต้อนรับสู่การสอบถามเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม