VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง
ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ
คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
โครงสร้างคริสตัล | โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111) |
ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
ความแข็ง | ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม) |
เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
ความจุความร้อน | 640 เจ·กก.-1·K-1 |
อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
การนำความร้อน | 300W·m-1·K-1 |
การขยายความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor คือผู้ผลิต ผู้จัดจำหน่าย และผู้ส่งออกระดับมืออาชีพสำหรับตัวรับถังกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ EPI ด้วยการสนับสนุนจากทีมงานมืออาชีพและเทคโนโลยีชั้นนำ VeTek Semiconductor สามารถให้คุณภาพสูงในราคาที่สมเหตุสมผลแก่คุณได้ เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราเพื่อหารือเพิ่มเติม
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor มีประสบการณ์หลายปีในการผลิตเบ้าหลอมกราไฟท์เคลือบ SiC คุณภาพสูง เรามีห้องปฏิบัติการของตนเองสำหรับการวิจัยและพัฒนาวัสดุ สามารถรองรับการออกแบบที่คุณกำหนดเองด้วยคุณภาพที่เหนือกว่า เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราเพื่อหารือเพิ่มเติม
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพที่ทุ่มเทให้กับการจัดหา MOCVD Epitaxial Susceptor คุณภาพสูงสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4" ด้วยประสบการณ์ในอุตสาหกรรมอันยาวนานและทีมงานมืออาชีพ เราจึงสามารถนำเสนอโซลูชันที่เชี่ยวชาญและมีประสิทธิภาพให้กับลูกค้าของเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพที่ทุ่มเทให้กับการจัดหาตัวรับกราไฟท์ GaN Epitaxial คุณภาพสูงสำหรับ G5 เราได้สร้างความร่วมมือระยะยาวและมั่นคงกับบริษัทที่มีชื่อเสียงหลายแห่งทั้งในและต่างประเทศ โดยได้รับความไว้วางใจและความเคารพจากลูกค้าของเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามบล็อกรับเซมิคอนดักเตอร์เคลือบ SiC ของ VeTek Semiconductor เป็นอุปกรณ์ที่เชื่อถือได้สูงและทนทาน ได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง ในขณะที่ยังคงประสิทธิภาพที่มั่นคงและอายุการใช้งานที่ยาวนาน ด้วยความสามารถด้านกระบวนการที่ยอดเยี่ยม สารกึ่งตัวนำ Susceptor Block SiC Coated ช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนและบำรุงรักษา จึงช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต เราหวังว่าจะมีโอกาสได้ร่วมงานกับคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSiC Coated MOCVD Susceptor ของ VeTek Semiconductor เป็นอุปกรณ์ที่มีกระบวนการที่ยอดเยี่ยม ความทนทาน และความน่าเชื่อถือ พวกเขาสามารถทนต่ออุณหภูมิและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่สูง รักษาประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงและอายุการใช้งานที่ยาวนาน จึงช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนและบำรุงรักษา และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต MOCVD Epitaxial Susceptor ของเรามีชื่อเสียงในด้านความหนาแน่นสูง ความเรียบเป็นเลิศ และการควบคุมความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เป็นอุปกรณ์ที่ต้องการในสภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรง รอคอยที่จะร่วมมือกับคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม