VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง
ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย
ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ
คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
โครงสร้างคริสตัล | โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111) |
ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
ความแข็ง | ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม) |
เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
ความจุความร้อน | 640 เจ·กก.-1·K-1 |
อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
การนำความร้อน | 300W·m-1·K-1 |
การขยายความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Vetek Semiconductor เป็นมืออาชีพในการผลิตการเคลือบ CVD SiC, การเคลือบ TaC บนวัสดุกราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์ เรามีผลิตภัณฑ์ OEM และ ODM เช่น SiC Coated Pedestal, เวเฟอร์พาหะ, เวเฟอร์เชย, ถาดเวเฟอร์พาหะ, ดิสก์ดาวเคราะห์และอื่น ๆ ด้วยห้องคลีนรูมเกรด 1,000 และอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ เราสามารถจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีสารเจือปนต่ำกว่า 5ppm ให้กับคุณได้ รอคอยที่จะได้ยิน จากคุณเร็ว ๆ นี้
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVetek Semiconductor เป็นเลิศในการร่วมมืออย่างใกล้ชิดกับลูกค้าเพื่อสร้างการออกแบบตามความต้องการสำหรับ SiC Coating Inlet Ring ที่ปรับให้เหมาะกับความต้องการเฉพาะ แหวนทางเข้าเคลือบ SiC เหล่านี้ ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างพิถีพิถันสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย เช่น อุปกรณ์ CVD SiC และเอพิแทกซีซิลิคอนคาร์ไบด์ สำหรับโซลูชันแหวนทางเข้าเคลือบ SiC ที่ปรับแต่งโดยเฉพาะ โปรดติดต่อ Vetek Semiconductor เพื่อขอความช่วยเหลือเฉพาะบุคคล
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพในจีน โดยส่วนใหญ่ผลิตวงแหวนรองรับเคลือบ SiC, การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ CVD (SiC), การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC), SiC จำนวนมาก, ผง SiC และวัสดุ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง เรามุ่งมั่นที่จะให้การสนับสนุนทางเทคนิคที่สมบูรณ์แบบและโซลูชั่นผลิตภัณฑ์ขั้นสูงสุดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โปรดติดต่อเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับเวเฟอร์ของ Vetek Semiconductor มีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้ได้ผลผลิตที่รวดเร็วและมีคุณภาพสูง ด้วยการผลิตภายในองค์กร ราคาที่แข่งขันได้ และการสนับสนุนด้านการวิจัยและพัฒนาที่แข็งแกร่ง Vetek Semiconductor จึงเป็นเลิศในบริการ OEM/ODM สำหรับส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ รอคอยที่จะมีคำถามของคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามกระบวนการ ALD หมายถึงกระบวนการ Atomic Layer Epitaxy ผู้ผลิตระบบ Vetek Semiconductor และ ALD ได้พัฒนาและผลิต SiC ที่เคลือบ ALD Planetary Susceptors ซึ่งตรงตามข้อกำหนดระดับสูงของกระบวนการ ALD เพื่อกระจายการไหลเวียนของอากาศอย่างสม่ำเสมอบนซับสเตรต ในเวลาเดียวกัน การเคลือบ CVD SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงของ Vetek Semiconductor ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์ในกระบวนการ ยินดีต้อนรับสู่หารือความร่วมมือกับเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVetek Semiconductor มุ่งเน้นไปที่การวิจัยและพัฒนาและอุตสาหกรรมการเคลือบ CVD SiC และการเคลือบ CVD TaC ยกตัวอย่างตัวรับการเคลือบ SiC ผลิตภัณฑ์ได้รับการประมวลผลสูงด้วยการเคลือบ CVD SIC ที่มีความหนาแน่นสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง และทนต่อการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง ยินดีต้อนรับการสอบถามเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม