MOCVD LED Epi ตัวรับ

VeTek Semiconductor คือผู้ผลิตมืออาชีพของ MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor ในประเทศจีน MOCVD LED Epi Susceptor ของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาเพื่อการใช้งานอุปกรณ์ epitaxis ที่มีความต้องการสูง การนำความร้อนสูง ความเสถียรทางเคมี และความทนทานเป็นปัจจัยสำคัญที่ทำให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการเติบโตของอีปิเทกเซียลที่เสถียรและการผลิตฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้ร่วมมือกับคุณต่อไป

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์ของMOCVD LED Epi ตัวรับเป็นองค์ประกอบหลัก ในกระบวนการเตรียมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์MOCVD LED Epi ตัวรับไม่เพียงแต่เป็นแพลตฟอร์มทำความร้อนธรรมดาเท่านั้น แต่ยังเป็นเครื่องมือในกระบวนการที่มีความแม่นยำ ซึ่งมีผลกระทบอย่างมากต่อคุณภาพ อัตราการเติบโต ความสม่ำเสมอ และด้านอื่น ๆ ของวัสดุฟิล์มบาง

การใช้งานเฉพาะของMOCVD LED Epi ตัวรับในการประมวลผลสารกึ่งตัวนำมีดังนี้:

การทำความร้อนของพื้นผิวและการควบคุมความสม่ำเสมอ:

MOCVD Epitaxy Susceptor ใช้เพื่อให้ความร้อนสม่ำเสมอ เพื่อให้มั่นใจว่าอุณหภูมิของซับสเตรตจะคงที่ในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว นี่เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการได้รับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง และรับประกันความสม่ำเสมอในความหนาและคุณภาพผลึกของชั้นเอพิแทกเซียลทั่วทั้งซับสเตรต

รองรับห้องปฏิกรณ์เคมีสะสมไอ (CVD):

เนื่องจากเป็นส่วนประกอบที่สำคัญในเครื่องปฏิกรณ์ CVD Susceptor จึงรองรับการสะสมของสารประกอบอินทรีย์ของโลหะบนพื้นผิว ช่วยแปลงสารประกอบเหล่านี้เป็นฟิล์มแข็งเพื่อสร้างวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการได้อย่างแม่นยำ

ส่งเสริมการกระจายก๊าซ:

การออกแบบ Susceptor สามารถปรับการกระจายการไหลของก๊าซในห้องปฏิกิริยาให้เหมาะสม เพื่อให้มั่นใจว่าก๊าซปฏิกิริยาสัมผัสกับสารตั้งต้นอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอและคุณภาพของฟิล์มเอพิแทกเซียล

คุณสามารถมั่นใจได้ในการซื้อแบบปรับแต่งเองMOCVD LED Epi ตัวรับจากเรา เราหวังว่าจะได้ร่วมมือกับคุณ หากคุณต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติม คุณสามารถปรึกษาเราได้ทันที แล้วเราจะตอบกลับคุณทันเวลา!

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC: