จีน การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

VeTek Semiconductor เชี่ยวชาญในการผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษ สารเคลือบเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้กับกราไฟท์บริสุทธิ์ เซรามิก และส่วนประกอบโลหะทนไฟ

การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงของเรามีเป้าหมายหลักเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกันสำหรับพาหะเวเฟอร์ ตัวรับ และองค์ประกอบความร้อน ปกป้องจากสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเกิดปฏิกิริยาที่พบในกระบวนการ เช่น MOCVD และ EPI กระบวนการเหล่านี้เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการผลิตอุปกรณ์ นอกจากนี้ การเคลือบของเรายังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาสุญญากาศและการทำความร้อนตัวอย่าง ซึ่งต้องเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ ปฏิกิริยา และออกซิเจนสูง

ที่ VeTek Semiconductor เรานำเสนอโซลูชันที่ครอบคลุมพร้อมความสามารถของร้านขายเครื่องจักรขั้นสูงของเรา ซึ่งช่วยให้เราสามารถผลิตส่วนประกอบพื้นฐานโดยใช้กราไฟท์ เซรามิก หรือโลหะทนไฟ และใช้การเคลือบเซรามิก SiC หรือ TaC ภายในบริษัทได้ นอกจากนี้เรายังให้บริการเคลือบชิ้นส่วนที่ลูกค้าจัดหามา เพื่อให้มั่นใจว่ามีความยืดหยุ่นในการตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย

ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน Si epitaxy, SiC epitaxy, ระบบ MOCVD, กระบวนการ RTP/RTA, กระบวนการแกะสลัก, กระบวนการแกะสลัก ICP/PSS, กระบวนการของ LED ประเภทต่างๆ รวมถึง LED สีน้ำเงินและสีเขียว, UV LED และ Deep-UV LED ฯลฯ ซึ่งปรับให้เข้ากับอุปกรณ์จาก LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI และอื่นๆ

ชิ้นส่วนเครื่องปฏิกรณ์ที่เราสามารถทำได้:

การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีข้อดีที่เป็นเอกลักษณ์หลายประการ:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

พารามิเตอร์การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
โครงสร้างคริสตัล	โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111)
ความหนาแน่นของการเคลือบ SiC	3.21 ก./ซม.³
การเคลือบ SiCความแข็ง	ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม)
เกรน SiZe	2~10ไมโครเมตร
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	99.99995%
ความจุความร้อน	640 เจ·กก^-1·เค^-1
อุณหภูมิระเหิด	2,700 ℃
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	415 MPa RT 4 จุด
โมดูลัสของยัง	430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃
การนำความร้อน	300W·ม^-1·เค^-1
การขยายความร้อน (CTE)	4.5×10-6K^-1

โครงสร้างคริสตัลฟิล์ม CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

ตัวรับ Epi ที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ ตัวพาเวเฟอร์เคลือบ SiC ฝาครอบดาวเทียมเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD CVD SiC การเคลือบเวเฟอร์ Epi Susceptor องค์ประกอบความร้อนเคลือบ CVD SiC ผู้ให้บริการเวเฟอร์ดาวเทียม Aixtron ตัวรับ Epi เคลือบ SiC SiC เคลือบชิ้นส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูน

View as

หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC

หัวฝักบัวแก๊ส Solid SiC มีบทบาทสำคัญในการทำให้แก๊สมีความสม่ำเสมอในกระบวนการ CVD ดังนั้นจึงรับประกันการให้ความร้อนที่สม่ำเสมอของพื้นผิว VeTek Semiconductor มีส่วนร่วมอย่างลึกซึ้งในด้านอุปกรณ์ Solid SiC มาหลายปีแล้ว และสามารถจัดหาหัวฝักบัว Solid SiC แบบใช้แก๊สแบบกำหนดเองให้กับลูกค้าได้ ไม่ว่าความต้องการของคุณคืออะไร เราหวังว่าจะได้รับการสอบถามจากคุณ

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

กระบวนการสะสมไอสารเคมี แหวนขอบ SiC ที่เป็นของแข็ง

VeTek Semiconductor มุ่งมั่นในการวิจัยและพัฒนาและการผลิตวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงมาโดยตลอด ในปัจจุบัน VeTek Semiconductor มีความก้าวหน้าอย่างมากในด้านผลิตภัณฑ์วงแหวน SiC แบบทึบ และสามารถจัดหาวงแหวนขอบ SiC แบบทึบที่ปรับแต่งสูงแก่ลูกค้าได้ วงแหวนขอบ Solid SiC ให้ความสม่ำเสมอในการแกะสลักที่ดีขึ้นและการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำเมื่อใช้กับหัวจับแบบไฟฟ้าสถิต ช่วยให้มั่นใจได้ถึงผลลัพธ์การแกะสลักที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ รอคอยที่จะสอบถามของคุณและกลายเป็นพันธมิตรระยะยาวของกันและกัน

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

แหวนโฟกัสการแกะสลัก SiC ที่เป็นของแข็ง

Solid SiC Etching Focusing Ring เป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของกระบวนการแกะสลักแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งมีบทบาทในการยึดแผ่นเวเฟอร์ การเน้นพลาสมา และปรับปรุงความสม่ำเสมอของการกัดแผ่นเวเฟอร์ ในฐานะผู้ผลิต SiC Focusing Ring ชั้นนำในประเทศจีน VeTek Semiconductor มีเทคโนโลยีขั้นสูงและกระบวนการที่สมบูรณ์ และผลิต Solid SiC Etching Focusing Ring ที่ตอบสนองความต้องการของลูกค้าปลายทางได้อย่างเต็มที่ตามความต้องการของลูกค้า เราหวังว่าจะได้รับการสอบถามของคุณและกลายเป็นพันธมิตรระยะยาวของกันและกัน

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

<...14 15 16 17 18 >

ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ มืออาชีพในประเทศจีน เรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณจะต้องการบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณ หรือต้องการซื้อ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ ที่ทันสมัยและทนทานที่ผลิตในจีน คุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้