SiC เคลือบชิ้นส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูน

ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์เซมิคอนดักเตอร์มืออาชีพ VeTek Semiconductor สามารถจัดหาส่วนประกอบกราไฟท์ที่หลากหลายที่จำเป็นสำหรับระบบการเจริญเติบโตของ SiC epitaxial ชิ้นส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูนเคลือบ SiC เหล่านี้ได้รับการออกแบบมาสำหรับส่วนทางเข้าก๊าซของเครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกเซียล และมีบทบาทสำคัญในการปรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ให้เหมาะสม VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพดีที่สุดในราคาที่แข่งขันได้แก่ลูกค้าเสมอ VeTek Semiconductor มุ่งหวังที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ในห้องปฏิกิริยาของเตาเติบโตแบบอีปิแทกเซียล SiC ชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon ที่เคลือบด้วย SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญในการปรับการกระจายการไหลของก๊าซ การควบคุมสนามความร้อน และความสม่ำเสมอของบรรยากาศปฏิกิริยา มักทำจากการเคลือบ SiCกราไฟท์ซึ่งออกแบบเป็นรูปพระจันทร์ครึ่งเสี้ยว ซึ่งอยู่ในส่วนกราไฟท์ด้านบนและด้านล่างของห้องปฏิกิริยา รอบๆ พื้นที่ซับสเตรต

SiC epitaxial growth furnace schematic diagram

-ส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูนตอนบน: ติดตั้งที่ส่วนบนของห้องปฏิกิริยา ใกล้กับทางเข้าก๊าซ มีหน้าที่ควบคุมก๊าซปฏิกิริยาให้ไหลไปยังพื้นผิวของสารตั้งต้น

-ส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูนตอนล่าง: ตั้งอยู่ที่ด้านล่างของห้องปฏิกิริยา ซึ่งโดยปกติจะอยู่ใต้ตัวยึดซับสเตรต ใช้เพื่อควบคุมทิศทางการไหลของก๊าซและปรับสนามความร้อนและการกระจายก๊าซที่ด้านล่างของซับสเตรตให้เหมาะสม

ในระหว่างกระบวนการ epitaxy SiCส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวด้านบนช่วยนำทางการไหลของก๊าซให้กระจายอย่างเท่าเทียมกันบนซับสเตรต ป้องกันไม่ให้ก๊าซกระทบโดยตรงกับพื้นผิวซับสเตรต และทำให้เกิดความร้อนสูงเกินไปหรือกระแสลมปั่นป่วนในท้องถิ่น ส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวด้านล่างช่วยให้ก๊าซไหลได้อย่างราบรื่นผ่านซับสเตรต จากนั้นจึงระบายออก ขณะเดียวกันก็ป้องกันไม่ให้ความปั่นป่วนส่งผลต่อความสม่ำเสมอในการเติบโตของชั้นเอพิเทเชียล

ในแง่ของการควบคุมสนามความร้อน ชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon ที่เคลือบ SiC ช่วยกระจายความร้อนในห้องปฏิกิริยาอย่างสม่ำเสมอผ่านรูปร่างและตำแหน่ง ส่วนกราไฟท์ฮาล์ฟมูนด้านบนสามารถสะท้อนความร้อนจากการแผ่รังสีของเครื่องทำความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิที่สูงกว่าพื้นผิวจะคงที่ ส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวส่วนล่างก็มีบทบาทคล้ายกัน โดยช่วยกระจายความร้อนใต้พื้นผิวอย่างสม่ำเสมอผ่านการนำความร้อน เพื่อป้องกันความแตกต่างของอุณหภูมิที่มากเกินไป

การเคลือบ SiC ทำให้ส่วนประกอบทนทานต่ออุณหภูมิสูงและเป็นสื่อกระแสไฟฟ้า ดังนั้นชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนของ VeTek Semiconductor จึงมีอายุการใช้งานยาวนาน ชิ้นส่วนกราไฟท์พระจันทร์ครึ่งเสี้ยวของเราที่ออกแบบมาอย่างพิถีพิถันสำหรับ SiC epitaxy สามารถบูรณาการเข้ากับเครื่องปฏิกรณ์แบบเอพิแทกเซียลต่างๆ ได้อย่างราบรื่น ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพโดยรวมและความน่าเชื่อถือของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไม่ว่าชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon ที่เคลือบ SiC ของคุณต้องการอะไร โปรดติดต่อ VeTek Semiconductor

เวเทคเซ็มร้านขายชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบ SiC ฮาล์ฟมูน:

แท็กยอดนิยม: ชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบ SiC Halfmoon, Halfmoon กราไฟท์บริสุทธิ์สูง, ชิ้นส่วนกราไฟท์ Halfmoon, ผู้ผลิต, ผู้จัดจำหน่าย, โรงงาน, ปรับแต่ง, ผลิตในประเทศจีน

แท็กสินค้า

หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง