VeTek Semiconductor เป็นพันธมิตรเชิงนวัตกรรมของคุณในด้านการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยผลงานที่ครอบคลุมของเราในด้านการผสมผสานวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถในการผลิตส่วนประกอบ และบริการด้านวิศวกรรมการใช้งาน เราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะความท้าทายที่สำคัญได้ เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทางเทคนิคทางวิศวกรรมถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากประสิทธิภาพของวัสดุที่โดดเด่น เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษของ VeTek Semiconductor ถูกใช้บ่อยตลอดวงจรการผลิตและการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์
VeTek Semiconductor นำเสนอส่วนประกอบเซรามิกเชิงวิศวกรรมที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการแพร่กระจายแบบแบทช์และข้อกำหนด LPCVD รวมถึง:
• แผ่นกั้นและที่จับ
• หัวฉีด
• ไลเนอร์และท่อกระบวนการ
• ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แคนทิลีเวอร์
• เรือเวเฟอร์และฐาน
ไม้พาย SiC Cantilever หลอดกระบวนการ SiC ท่อกระบวนการซิลิคอนคาร์ไบด์ เรือเวเฟอร์แนวตั้ง SiC เรือเวเฟอร์แนวนอน SiC เรือเวเฟอร์สี่เหลี่ยมแนวนอน SiC เรือเวเฟอร์ SiC LPCVD เรือจานแนวนอน SiC เรือเวเฟอร์ทรงกลม SiC
ลดการปนเปื้อนและการบำรุงรักษาที่ไม่ได้กำหนดไว้ด้วยส่วนประกอบที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อความเข้มงวดของกระบวนการกัดด้วยพลาสมา รวมถึง:
วงแหวนโฟกัส
หัวฉีด
โล่
ฝักบัว
หน้าต่าง / ฝาปิด
ส่วนประกอบที่กำหนดเองอื่นๆ
VeTek Semiconductor นำเสนอส่วนประกอบวัสดุขั้นสูงที่ปรับแต่งสำหรับการใช้งานการประมวลผลความร้อนที่อุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานเหล่านี้ครอบคลุมถึง RTP, กระบวนการ Epi, การแพร่กระจาย, ออกซิเดชัน และการหลอมอ่อน เซรามิกทางเทคนิคของเราได้รับการออกแบบให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิโดยฉับพลัน ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอ ด้วยส่วนประกอบของ VeTek Semiconductor ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถบรรลุการประมวลผลความร้อนที่มีประสิทธิภาพและมีคุณภาพสูง ซึ่งมีส่วนช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยรวมประสบความสำเร็จ
• เครื่องกระจายกลิ่น
• ฉนวนไฟฟ้า
• ตัวรับ
• ส่วนประกอบระบายความร้อนอื่นๆ แบบกำหนดเอง
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหา SiC / SiC | > 99.96% |
เนื้อหา Si / ฟรี Si | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม.3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
VeTek Semiconductor นำเสนอหลอดกระบวนการ SiC ประสิทธิภาพสูงสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หลอดสำหรับกระบวนการ SiC ของเรามีความเป็นเลิศในกระบวนการออกซิเดชั่นและการแพร่กระจาย ด้วยคุณภาพและงานฝีมือที่เหนือกว่า หลอดเหล่านี้จึงมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงและการนำความร้อนเพื่อการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพ เราเสนอราคาที่แข่งขันได้และพยายามที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามไม้พาย SiC Cantilever ของ VeTek Semiconductor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงมาก โดยปกติแล้ว SiC Cantilever Paddle ของเราจะใช้ในเตาบำบัดความร้อนสำหรับการจัดการและรองรับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน การสะสมไอสารเคมี (CVD) และกระบวนการแปรรูปอื่นๆ ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงและการนำความร้อนสูงของวัสดุ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือสูงในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงในราคาที่แข่งขันได้ และหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ในประเทศจีนสำหรับเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอน ด้วยประสบการณ์หลายปีในด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิต สามารถควบคุมคุณภาพได้ดีและเสนอราคาที่แข่งขันได้ คุณสามารถมั่นใจได้ในการซื้อเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาแนวนอนจากเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพในประเทศจีนสำหรับเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบ SiC ด้วยประสบการณ์หลายปีในด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิต สามารถควบคุมคุณภาพได้ดีและเสนอราคาที่แข่งขันได้ ยินดีต้อนรับเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราและมีการอภิปรายเพิ่มเติมเกี่ยวกับความร่วมมือ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นพายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับเตาแพร่กระจายหรือเตา LPCVD ในกระบวนการที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่และ RTP ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของเราได้รับการออกแบบและผลิตอย่างพิถีพิถันโดยมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม และสามารถขนส่งเวเฟอร์ไปยังท่อกระบวนการได้อย่างปลอดภัยและเชื่อถือได้ภายใต้สภาวะกระบวนการที่รุนแรงสำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงต่างๆ เช่น การแพร่กระจายและ RTP เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาเพื่อยึดและขนส่งเวเฟอร์ซิลิคอนที่ละเอียดอ่อนอย่างปลอดภัย โดยมีบทบาทสำคัญในทุกขั้นตอนของการผลิต ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบและผลิตอย่างพิถีพิถันเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยม VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ และเราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม