ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาเพื่อยึดและขนส่งเวเฟอร์ซิลิคอนที่ละเอียดอ่อนอย่างปลอดภัย โดยมีบทบาทสำคัญในทุกขั้นตอนของการผลิต ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบและผลิตอย่างพิถีพิถันเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยม VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ และเราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
VeTek Semiconductor เป็นผู้นำมืออาชีพผู้ผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของจีนที่มีคุณภาพและราคาสมเหตุสมผล ยินดีต้อนรับสู่ติดต่อเรา
ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor เป็นตัวพาที่ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์หลายตัวเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพพื้นที่ภายในห้องกระบวนการให้สูงสุด ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเหล่านี้มักเป็นรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าหรือทรงกระบอก และตัวพาแต่ละรายมีช่องหรือร่องที่กลึงด้วยเครื่องจักรอย่างแม่นยำซึ่งแยกออกจากกันเพื่อยึดเวเฟอร์เดี่ยวให้มั่นคงในตำแหน่งแนวตั้ง ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง สารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และความเค้นเชิงกลได้ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายที่อาจเกิดขึ้น ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (SiC) เพื่อให้มั่นใจถึงความสมบูรณ์และความปลอดภัยของเวเฟอร์ในระหว่างการประมวลผล
ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงมีบทบาทสำคัญในกระบวนการที่ซับซ้อน เช่น การแพร่กระจาย, RTP และสนามความร้อน โดยทำหน้าที่เป็นตัวพาที่มั่นคงสำหรับเวเฟอร์เพื่อให้ถ่ายโอนระหว่างอุปกรณ์และขั้นตอนต่างๆ ได้อย่างราบรื่น โครงสร้างแนวตั้งช่วยลดพื้นที่ในห้องกระบวนการ เพิ่มปริมาณการผลิตให้เหมาะสม และสามารถรองรับเวเฟอร์จำนวนมากได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงมีชื่อเสียงในด้านความทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน และความแข็งแรงเชิงกลได้อย่างดีเยี่ยม เพื่อปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายที่อาจเกิดขึ้น
ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง และทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และความแข็งแรงเชิงกลได้ดีเยี่ยม เพื่อปกป้องความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง โครงสร้างที่ออกแบบอย่างพิถีพิถันและช่องที่ประมวลผลอย่างแม่นยำทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์อยู่ในตำแหน่งที่มั่นคงเพื่อตอบสนองความต้องการของการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูง
VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการสนับสนุนทางเทคนิคที่เชื่อถือได้แก่ลูกค้า ไม่ว่าในการเจริญเติบโตของแผ่นเวเฟอร์ การแพร่กระจาย การสะสมของฟิล์มบาง หรือกระบวนการที่สำคัญอื่นๆ สารพาหะเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor สามารถมีบทบาทสำคัญในการรับประกันความเสถียรและความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิต เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหาเกี่ยวกับ SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม.3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |