ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever

แผ่นพายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับเตาแพร่กระจายหรือเตา LPCVD ในกระบวนการที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่และ RTP ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของเราได้รับการออกแบบและผลิตอย่างพิถีพิถันโดยมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม และสามารถขนส่งเวเฟอร์ไปยังท่อกระบวนการได้อย่างปลอดภัยและเชื่อถือได้ภายใต้สภาวะกระบวนการที่รุนแรงสำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงต่างๆ เช่น การแพร่กระจายและ RTP เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

คุณสามารถวางใจได้ในการซื้อไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แบบสั่งทำพิเศษจาก VeTek Semiconducto เราหวังว่าจะร่วมมือกับคุณ หากคุณต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติม คุณสามารถปรึกษาเราตอนนี้ เราจะตอบกลับคุณทันเวลา!

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของ VeTek Semiconductor ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง และทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความแข็งแรงเชิงกลได้ดีเยี่ยม เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่หรือ LPCVD และกระบวนการ RTP การออกแบบและการผลิตที่แม่นยำของไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการวางตำแหน่งและการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ที่ปลอดภัยเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการที่มีความแม่นยำสูง

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ของ VeTek Semiconductor ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลัก ซิลิคอนคาร์ไบด์มีลักษณะเฉพาะที่มีความแข็งแรงสูงและมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี จึงสามารถทนต่อสภาวะที่ไม่เอื้ออำนวยในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงของเตาเซมิคอนดักเตอร์ เหตุผลประการหนึ่งที่เลือกซิลิกอนคาร์ไบด์ก็เพราะสามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงในเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ได้

การออกแบบไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ยื่นออกไปช่วยให้สามารถขยายเข้าไปในท่อกระบวนการในเตาเผาและยึดไว้อย่างแน่นหนาที่ปลายด้านหนึ่งด้านนอกท่อ การออกแบบนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์ที่กำลังประมวลผลยังคงมีเสถียรภาพและรองรับในระหว่างกระบวนการ และลดการรบกวนกับสภาพแวดล้อมทางความร้อนในเตาเผาให้เหลือน้อยที่สุด

VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ไม้พาย SiC cantilever คุณภาพสูง ผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการออกแบบและผลิตอย่างพิถีพิถันเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมของไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilever ทำให้เป็นส่วนประกอบหลักที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ และเราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ของพายเท้าแขนซิลิคอนคาร์ไบด์

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
อุณหภูมิในการทำงาน (°C)	1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม)
เนื้อหาเกี่ยวกับ SiC	> 99.96%
เนื้อหาศรีฟรี	<0.1%
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	2.60-2.70 ก./ซม.3
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด	< 16%
แรงอัด	> 600 เมกะปาสคาล
แรงดัดงอเย็น	80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ)
แรงดัดงอร้อน	90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C)
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C	4.70 10-6/°ซ
การนำความร้อนที่ 1200°C	23 วัตต์/ม•เค
โมดูลัสยืดหยุ่น	240 เกรดเฉลี่ย
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน	ดีมาก