เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor ทำจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์อย่างยิ่ง โดยมีเสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแรงทางกล และทนต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงถูกนำมาใช้ในการใช้งานโซนร้อนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง และมีบทบาทสำคัญในการปกป้องแผ่นเวเฟอร์ การขนย้ายวัสดุ และการรักษากระบวนการที่มีเสถียรภาพ VeTek Semiconductor จะยังคงทำงานอย่างหนักเพื่อสร้างสรรค์และปรับปรุงประสิทธิภาพของเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ VeTek Semiconductor ต้องการจัดหาเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงให้กับคุณ
ประสิทธิภาพการระบายความร้อนที่ดีเยี่ยม: เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor มีประสิทธิภาพการระบายความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง และมีค่าการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้สามารถทำงานได้ที่อุณหภูมิสูงกว่าสภาพแวดล้อมมาก ทำให้เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเหมาะสำหรับการใช้งานที่มีกำลังสูงและทนทานต่ออุณหภูมิสูง
ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และมีความทนทานต่อสารกัดกร่อนต่างๆ ได้ดี ในฐานะตัวพาที่เชื่อถือได้ จึงสามารถทนต่อผลกระทบของอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมทางเคมี ทำให้มั่นใจได้ถึงการประมวลผลเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ ในฐานะตัวพาที่เชื่อถือได้ จึงสามารถทนต่อผลกระทบของอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมทางเคมี ทำให้มั่นใจได้ถึงการประมวลผลเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ
ความสมบูรณ์ของมิติ: เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงไม่หดตัวในระหว่างกระบวนการเผาผนึก รักษาความสมบูรณ์ของมิติ และขจัดความเค้นตกค้างที่อาจทำให้ชิ้นส่วนบิดเบี้ยวหรือแตกร้าว ช่วยให้สามารถผลิตชิ้นส่วนที่มีรูปร่างซับซ้อนและมีมิติที่แม่นยำ ไม่ว่าจะในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรือสาขาอุตสาหกรรมอื่นๆ เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงให้การควบคุมขนาดที่เชื่อถือได้เพื่อให้แน่ใจว่าชิ้นส่วนตรงตามข้อกำหนดเฉพาะ
ในฐานะเครื่องมืออเนกประสงค์ เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor สามารถนำไปใช้กับเทคโนโลยีการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย รวมถึงการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวและการสะสมไอสารเคมี การออกแบบที่ทนทานและลักษณะที่ไม่เกิดปฏิกิริยาทำให้เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเหมาะสำหรับสารเคมีในกระบวนการผลิตที่หลากหลาย ทำให้มั่นใจได้ว่าสามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่แตกต่างกันได้อย่างราบรื่น
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเจริญเติบโตของอีพิแทกเซียลและการสะสมไอสารเคมีเป็นขั้นตอนกระบวนการทั่วไปที่ใช้ในการผลิตเวเฟอร์และฟิล์มบางคุณภาพสูง เรือ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีบทบาทสำคัญในฐานะพาหะ ซึ่งสามารถทนต่ออิทธิพลของอุณหภูมิและสารเคมีที่สูง เพื่อให้มั่นใจถึงกระบวนการเติบโตและการสะสมตัวที่แม่นยำ
นอกจากการออกแบบที่ทนทานแล้ว เรือ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงยังไม่เกิดปฏิกิริยาอีกด้วย ซึ่งหมายความว่าจะไม่ทำปฏิกิริยาในทางลบกับสารเคมีในกระบวนการผลิต ซึ่งจะช่วยรักษาความสมบูรณ์และประสิทธิภาพของเรือ ช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีเครื่องมือที่เชื่อถือได้ เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำในกระบวนการผลิต
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหาเกี่ยวกับ SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม.3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |