VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพในประเทศจีนสำหรับเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบ SiC ด้วยประสบการณ์หลายปีในด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิต สามารถควบคุมคุณภาพได้ดีและเสนอราคาที่แข่งขันได้ ยินดีต้อนรับเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราและมีการอภิปรายเพิ่มเติมเกี่ยวกับความร่วมมือ
VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ของจีนซึ่งส่วนใหญ่ผลิตเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบ SiC ด้วยประสบการณ์หลายปี หวังว่าจะสร้างความสัมพันธ์ทางธุรกิจกับคุณเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบ SiC ใช้ในเตาหลอมการแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์เพื่อส่งเวเฟอร์สำหรับกระบวนการที่อุณหภูมิสูงต่างๆ เช่น การฝังไอออน การแพร่กระจาย และการหลอม มันสามารถให้สภาพแวดล้อมที่มั่นคงสำหรับเวเฟอร์ ทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและความสม่ำเสมอในระหว่างการประมวลผล
เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบ SiC มีความต้านทานความร้อนและความเสถียรทางเคมีสูงกว่า ช่วยให้ทำงานที่อุณหภูมิสูงขึ้นและมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น นอกจากนี้ ยังมีอัตราการระเหยของวัสดุและอัตราการดูดซับก๊าซที่ต่ำกว่า ซึ่งช่วยลดผลกระทบของสิ่งเจือปนในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์
เราสามารถผลิตเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ประเภทต่างๆ ได้ เช่น เรือเวเฟอร์แนวนอน เรือเวเฟอร์แนวตั้ง และเรือที่กำหนดเองอื่นๆ
1. ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง
2.ความเฉื่อยของสารเคมี
3. เนื้อหามีสิ่งเจือปนต่ำ
4.การนำความร้อน
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหาเกี่ยวกับ SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม.3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |