VeTek Semiconductor เป็นพันธมิตรเชิงนวัตกรรมของคุณในด้านการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยผลงานที่ครอบคลุมของเราในด้านการผสมผสานวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถในการผลิตส่วนประกอบ และบริการด้านวิศวกรรมการใช้งาน เราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะความท้าทายที่สำคัญได้ เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทางเทคนิคทางวิศวกรรมถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากประสิทธิภาพของวัสดุที่โดดเด่น เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษของ VeTek Semiconductor ถูกใช้บ่อยตลอดวงจรการผลิตและการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์
VeTek Semiconductor นำเสนอส่วนประกอบเซรามิกเชิงวิศวกรรมที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการแพร่กระจายแบบแบทช์และข้อกำหนด LPCVD รวมถึง:
• แผ่นกั้นและที่จับ
• หัวฉีด
• ไลเนอร์และท่อกระบวนการ
• ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แคนทิลีเวอร์
• เรือเวเฟอร์และฐาน
ไม้พาย SiC Cantilever หลอดกระบวนการ SiC ท่อกระบวนการซิลิคอนคาร์ไบด์ เรือเวเฟอร์แนวตั้ง SiC เรือเวเฟอร์แนวนอน SiC เรือเวเฟอร์สี่เหลี่ยมแนวนอน SiC เรือเวเฟอร์ SiC LPCVD เรือจานแนวนอน SiC เรือเวเฟอร์ทรงกลม SiC
ลดการปนเปื้อนและการบำรุงรักษาที่ไม่ได้กำหนดไว้ด้วยส่วนประกอบที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อความเข้มงวดของกระบวนการกัดด้วยพลาสมา รวมถึง:
วงแหวนโฟกัส
หัวฉีด
โล่
ฝักบัว
หน้าต่าง / ฝาปิด
ส่วนประกอบที่กำหนดเองอื่นๆ
VeTek Semiconductor นำเสนอส่วนประกอบวัสดุขั้นสูงที่ปรับแต่งสำหรับการใช้งานการประมวลผลความร้อนที่อุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานเหล่านี้ครอบคลุมถึง RTP, กระบวนการ Epi, การแพร่กระจาย, ออกซิเดชัน และการหลอมอ่อน เซรามิกทางเทคนิคของเราได้รับการออกแบบให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิโดยฉับพลัน ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอ ด้วยส่วนประกอบของ VeTek Semiconductor ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถบรรลุการประมวลผลความร้อนที่มีประสิทธิภาพและมีคุณภาพสูง ซึ่งมีส่วนช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยรวมประสบความสำเร็จ
• เครื่องกระจายกลิ่น
• ฉนวนไฟฟ้า
• ตัวรับ
• ส่วนประกอบระบายความร้อนอื่นๆ แบบกำหนดเอง
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหา SiC / SiC | > 99.96% |
เนื้อหา Si / ฟรี Si | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม.3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของ VeTek Semiconductor ทำจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์อย่างยิ่ง โดยมีเสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแรงทางกล และทนต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงถูกนำมาใช้ในการใช้งานโซนร้อนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง และมีบทบาทสำคัญในการปกป้องแผ่นเวเฟอร์ การขนย้ายวัสดุ และการรักษากระบวนการที่มีเสถียรภาพ VeTek Semiconductor จะยังคงทำงานอย่างหนักเพื่อสร้างสรรค์และปรับปรุงประสิทธิภาพของเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระดับมืออาชีพ ซึ่งทุ่มเทให้กับการจัดหาผงซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์พิเศษคุณภาพสูงสำหรับการเติบโตของคริสตัล ด้วยความบริสุทธิ์สูงถึง 99.999% โดยน้ำหนัก และระดับสิ่งเจือปนต่ำมากของไนโตรเจน โบรอน อลูมิเนียม และสารปนเปื้อนอื่นๆ จึงได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อเพิ่มคุณสมบัติกึ่งฉนวนของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ยินดีต้อนรับสู่สอบถามและร่วมมือกับเรา!
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม