ไม้พาย SiC Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูง

ไม้พาย SiC Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในอุปกรณ์แปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์นี้ทำจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง เมื่อรวมกับคุณลักษณะที่ยอดเยี่ยมของความบริสุทธิ์สูง ความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานการกัดกร่อน จึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการต่างๆ เช่น การถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ การรองรับ และการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง ให้การรับประกันที่เชื่อถือได้เพื่อรับรองความถูกต้องแม่นยำของกระบวนการและคุณภาพของผลิตภัณฑ์

โดยทั่วไป SiC Cantilever Paddle ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีบทบาทเฉพาะต่อไปนี้ในกระบวนการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์:

การถ่ายโอนเวเฟอร์: ไม้พาย SiC Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูงมักจะใช้เป็นอุปกรณ์ถ่ายโอนเวเฟอร์ในเตาแพร่หรือออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ความแข็งสูงทำให้ทนทานต่อการสึกหรอและไม่เสียรูปง่ายในระหว่างการใช้งานในระยะยาว และช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์ยังคงอยู่ในตำแหน่งที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการถ่ายโอน เมื่อรวมเข้ากับอุณหภูมิที่สูงและความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้สามารถถ่ายโอนเวเฟอร์เข้าและออกจากท่อเตาเผาได้อย่างปลอดภัยในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนหรือความเสียหายต่อเวเฟอร์

การสนับสนุนเวเฟอร์: วัสดุ SiC มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ ซึ่งหมายความว่าขนาดจะเปลี่ยนแปลงน้อยลงเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลง ซึ่งช่วยรักษาการควบคุมที่แม่นยำในกระบวนการ ในกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) SiC Cantilever Paddle ถูกนำมาใช้เพื่อรองรับและยึดแผ่นเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าแผ่นเวเฟอร์ยังคงมีเสถียรภาพและราบเรียบในระหว่างกระบวนการสะสม ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอและคุณภาพของฟิล์ม .

การประยุกต์ใช้กระบวนการที่อุณหภูมิสูง: SiC Cantilever Paddle มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมและสามารถทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1600°C ดังนั้นผลิตภัณฑ์นี้จึงใช้กันอย่างแพร่หลายในการหลอมที่อุณหภูมิสูง ออกซิเดชัน การแพร่กระจายและกระบวนการอื่น ๆ

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของไม้พาย SiC Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูง:

ไม้พาย SiC Cantilever ที่มีความบริสุทธิ์สูงร้านค้า:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์: