เซมิคอนดักเตอร์ VeTek เป็นผู้ผลิตชั้นนำด้านวัสดุเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์หลักที่เรานำเสนอ ได้แก่ ชิ้นส่วนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ CVD ชิ้นส่วนเคลือบ TaC เผาผนึกสำหรับการเจริญเติบโตของผลึก SiC หรือกระบวนการ epitaxy ของเซมิคอนดักเตอร์ ผ่าน ISO9001 VeTek Semiconductor มีการควบคุมคุณภาพที่ดี VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะเป็นผู้ริเริ่มในอุตสาหกรรมการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ผ่านการวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีที่ทำซ้ำอย่างต่อเนื่อง
สินค้าหลักได้แก่แหวนแปรสภาพแทนทาลัมคาร์ไบด์, แหวนเปลี่ยนทิศทางเคลือบ TaC, ชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนเคลือบ TaC, จานหมุนดาวเคราะห์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (Aixtron G10), เบ้าหลอมเคลือบ TaC; แหวนเคลือบ TaC; กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบ TaC; ตัวรับกราไฟท์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์; แหวนนำเคลือบ TaC; แผ่นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ TaC; ตัวรับเวเฟอร์เคลือบ TaC; แหวนเคลือบ TaC; ฝาครอบกราไฟท์เคลือบ TaC; แทซี ก้อนเคลือบฯลฯ ความบริสุทธิ์ต่ำกว่า 5ppm สามารถตอบสนองความต้องการของลูกค้าได้
กราไฟท์ที่เคลือบ TaC ถูกสร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์ ข้อดีดังแสดงไว้ในภาพด้านล่าง:
การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ได้รับความสนใจเนื่องจากมีจุดหลอมเหลวสูงถึง 3880°C มีความแข็งแรงเชิงกล ความแข็ง และความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจสำหรับกระบวนการ epitaxy สารกึ่งตัวนำแบบผสมที่มีความต้องการอุณหภูมิที่สูงขึ้น เช่น ระบบ Aixtron MOCVD และกระบวนการ epitaxy LPE SiC นอกจากนี้ยังมีการใช้งานอย่างกว้างขวางในกระบวนการเติบโตผลึก SiC วิธี PVT
ความเสถียรของอุณหภูมิ
มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
ความต้านทานต่อ H2, NH3, SiH4, Si
ความต้านทานต่อสต็อกความร้อน
การยึดเกาะที่แข็งแกร่งกับกราไฟท์
ความคุ้มครองการเคลือบตามแบบฉบับ
● ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 750 มม.(ผู้ผลิตรายเดียวในจีนถึงขนาดนี้)
● ตัวรับความร้อนแบบเหนี่ยวนำ
● องค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน
● แผ่นกันความร้อน
คุณสมบัติทางกายภาพของการเคลือบ TaC | |
ความหนาแน่น | 14.3 (ก./ซม.) |
การแผ่รังสีจำเพาะ | 0.3 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน | 6.3 10-6/ก |
ความแข็ง (ฮ่องกง) | 2000 ฮ่องกง |
ความต้านทาน | 1×10-5โอห์ม*ซม |
เสถียรภาพทางความร้อน | <2500 ℃ |
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์ | -10~-20um |
ความหนาของการเคลือบ | ≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
องค์ประกอบ | เปอร์เซ็นต์อะตอม | |||
พ.ต. 1 | พ.ต. 2 | พ.ต. 3 | เฉลี่ย | |
ซีเค | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
พวกเขา | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตแหวนสามกลีบเคลือบ TaC ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC และ SiC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานการกัดกร่อน มีความแข็งแรงสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความบริสุทธิ์สูงและทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 2,000 ℃ เราหวังว่าจะเป็นระยะยาวของคุณ พันธมิตรในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตฝาครอบเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC และ SiC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานการกัดกร่อน มีความแข็งแรงสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ชั้นนำของ Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon ที่ปรับแต่งเองในประเทศจีน โดยเชี่ยวชาญด้านวัสดุขั้นสูงมาเป็นเวลาหลายปี ฮาล์ฟมูนโลเวอร์กราไฟท์บริสุทธิ์พิเศษของเราได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับอุปกรณ์ SiC เอพิเทเชียล ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม ผลิตจากกราไฟท์นำเข้าบริสุทธิ์พิเศษ จึงให้ความน่าเชื่อถือและความทนทาน เยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีนเพื่อสำรวจ Halfmoon ตอนล่างของกราไฟท์บริสุทธิ์พิเศษคุณภาพสูงโดยตรง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ชั้นนำด้านการเคลือบ SiC Upper Halfmoon Part ที่ปรับแต่งเองในประเทศจีน โดยเชี่ยวชาญด้านวัสดุขั้นสูงมานานกว่า 20 ปี ส่วนที่เคลือบ SiC ส่วนบนของ Halfmoon ของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ SiC epitaxial ซึ่งทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในห้องปฏิกิริยา ผลิตจากกราไฟท์เกรดเซมิคอนดักเตอร์บริสุทธิ์พิเศษ จึงมั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม เราขอเชิญคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ผู้ให้บริการเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy แบบปรับแต่งได้ชั้นนำในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในด้านวัสดุขั้นสูงมากว่า 20 ปี เราขอนำเสนอผู้ให้บริการเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy สำหรับการบรรทุกซับสเตรต SiC ซึ่งเพิ่มชั้น Epitaxy ของ SiC ในเครื่องปฏิกรณ์แบบ Epitaxis ของ SiC ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy นี้เป็นชิ้นส่วนเคลือบ SiC ที่สำคัญของชิ้นส่วนฮาล์ฟมูน ทนต่ออุณหภูมิสูง ต้านทานออกซิเดชัน ต้านทานการสึกหรอ เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม