หัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความบริสุทธิ์สูงและทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 2,000 ℃ เราหวังว่าจะเป็นระยะยาวของคุณ พันธมิตรในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

VeTek Semiconductor จัดหาหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์คุณภาพสูง ชิ้นส่วนเคลือบ SiC ในราคาที่แข่งขัน ยินดีต้อนรับสู่การสอบถามเราVeTek Semiconductor แทนทาลัมคาร์ไบด์เคลือบหัวจับ ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับระบบ AIXTRON G10 MOCVD อุปกรณ์เสริมนี้ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและคุณภาพในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่โดดเด่น

หัวจับผลิตจากวัสดุคุณภาพสูงและผลิตด้วยความแม่นยำ มีซับสเตรตกราไฟต์เคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ CVD (TaC) สารเคลือบนี้ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง และทนทานต่ออุณหภูมิสูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในสภาวะที่เรียกร้องของกระบวนการ MOCVD

หัวจับสามารถปรับแต่งได้เพื่อรองรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดต่างๆ ทำให้เหมาะสำหรับความต้องการในการผลิตที่หลากหลาย โครงสร้างที่แข็งแกร่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานและต้นทุนการบำรุงรักษาที่เกี่ยวข้องกับตัวพาเวเฟอร์และตัวรับ

ด้วยหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor ระบบ AIXTRON G10 MOCVD มีประสิทธิภาพที่สูงขึ้นและผลลัพธ์ที่เหนือกว่าในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความเข้ากันได้กับเวเฟอร์ขนาดต่างๆ และประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ ทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญในการเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตให้เหมาะสม และบรรลุผลลัพธ์ที่โดดเด่นในสภาพแวดล้อม MOCVD ที่ท้าทาย

พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ของหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

คุณสมบัติทางกายภาพของการเคลือบ TaC
ความหนาแน่น	14.3 (ก./ซม.)
การแผ่รังสีจำเพาะ	0.3
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน	6.3 10-6/ก
ความแข็ง (ฮ่องกง)	2000 ฮ่องกง
ความต้านทาน	1×10-5 โอห์ม*ซม
เสถียรภาพทางความร้อน	<2500 ℃
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์	-10~-20um
ความหนาของการเคลือบ	≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um)