หัวฉีดเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์

หัวฉีดเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์มีบทบาทสำคัญในกระบวนการ HDP-CVDใช้ในการควบคุมการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำและมั่นใจการสะสมฟิล์มคุณภาพสูง- สเปรย์หัวฉีดเซรามิกได้รับการออกแบบอย่างแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าอัตราการไหลของก๊าซสม่ำเสมอและควบคุมได้ ช่วยลดความปั่นป่วนที่อาจเกิดขึ้นได้เมื่อก๊าซเข้าสู่ห้องปฏิกิริยา

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค:

1.องค์ประกอบของวัสดุ:

หัวพ่นทรายเซรามิก VeTeK Semiconductor โดยทั่วไปจะทำจากเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ เช่น อลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3)ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)หรือเซอร์โคเนียมออกไซด์ (ZrO2) วัสดุเหล่านี้มีคุณสมบัติที่ดีเยี่ยม:

    • มีเสถียรภาพทางความร้อนสูง (สามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงกว่า 1,000°C)

    • ความต้านทานต่อการกัดกร่อนโดยก๊าซปฏิกิริยาที่ใช้กระบวนการซีวีดี(เช่นไซเลน แอมโมเนีย)

    • ความต้านทานต่อการสัมผัสพลาสมาอย่างต่อเนื่อง

2. การออกแบบโครงสร้าง:

    • ขนาดปาก: ปากของหัวฉีดเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ได้รับการออกแบบทางวิทยาศาสตร์เพื่อให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซได้อย่างแม่นยำ ซึ่งจะส่งผลต่อความสม่ำเสมอและความหนาของฟิล์ม

    • มุมและรูปทรง: ออกแบบมาอย่างแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายก๊าซสม่ำเสมอทั่วพื้นผิว ช่วยลดข้อบกพร่องในชั้นที่สะสมอยู่

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ หัวพ่นเซรามิกของเซมิคอนดักเตอร์มีบทบาทสำคัญในกระบวนการ HDP-CVD เป็นหลัก นอกจากนี้ยังใช้เพื่อสะสมฟิล์มบางสำหรับการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อให้มั่นใจว่าการเคลือบพื้นผิวคุณภาพสูงมีความสม่ำเสมอและปราศจากสิ่งปนเปื้อน

ร้านค้าหัวฉีดเซรามิก VeTeK Semiconductor: