CVD SiC เคลือบ Epitaxy susceptor

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ของ VeTek Semiconductor เป็นเครื่องมือที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาสำหรับการจัดการและการประมวลผลเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์ SiC Coating Epitaxy Susceptor นี้มีบทบาทสำคัญในการส่งเสริมการเจริญเติบโตของฟิล์มบาง ชั้นกำจัดขน และสารเคลือบอื่นๆ และสามารถควบคุมอุณหภูมิและคุณสมบัติของวัสดุได้อย่างแม่นยำ ยินดีต้อนรับคำถามเพิ่มเติมของคุณ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor เป็นชนิดของMOCVD LED Epi ตัวรับซึ่งมีบทบาทสำคัญในเครื่องปฏิกรณ์ CVD เนื่องจาก Epi Susceptor ไม่เพียงแต่เป็นแหล่งความร้อนเท่านั้น แต่ยังให้แพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับซับสเตรตในระหว่างกระบวนการสะสมอีกด้วยการเคลือบ SiCสามารถลดการเกิดออกซิเดชันและการปนเปื้อนของ Graphite Susceptor ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงรับประกันความบริสุทธิ์สูงของวัสดุที่สะสมอยู่

ขั้นพื้นฐานคุณสมบัติทางกายภาพของการเคลือบ CVD SiC:

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
โครงสร้างคริสตัล	โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111)
ความหนาแน่น	3.21 ก./ซม.³
ความแข็ง	ความแข็ง 2,500 วิกเกอร์ส (โหลด 500 กรัม)
ขนาดเกรน	2~10ไมโครเมตร
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	99.99995%
ความจุความร้อน	640 เจ·กก^-1·เค^-1
อุณหภูมิระเหิด	2,700 ℃
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	415 MPa RT 4 จุด
โมดูลัสของยัง	430 Gpa 4pt โค้งงอ, 1300 ℃
การนำความร้อน	300W·ม^-1·เค^-1
การขยายความร้อน (CTE)	4.5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ข้อดีของผลิตภัณฑ์:

การสะสมที่แม่นยำ: ด้วย CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor คุณสามารถควบคุมการสะสมของฟิล์มบางและสารเคลือบได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้ได้ผลลัพธ์คุณภาพสูงและทำซ้ำได้

การปนเปื้อนลดลง: การเคลือบ SiC ช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนจากอีพิ ซัพเซเตอร์กราไฟท์ที่ใช้ทำให้มั่นใจในความบริสุทธิ์ของวัสดุที่สะสม

ความทนทาน: การเคลือบ SiC ช่วยเพิ่มความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันและความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีของ Graphite Epitaxy Susceptor ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นและมีความน่าเชื่อถือสูงขึ้น

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและราคาที่แข่งขันได้ ไม่ว่าจะเป็นถ้าเป็น EPI Receiverหรือ Susceptor Graphite EPI ที่มีความบริสุทธิ์สูง เราสามารถตอบสนองความต้องการของคุณได้ เรารอคอยที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ร้านค้าผลิตภัณฑ์: