Vetek Semiconductor Wafer Handling End Effector เป็นส่วนสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การลำเลียงเวเฟอร์ และการปกป้องพื้นผิวจากความเสียหาย VeTek Semiconductor ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ชั้นนำของ Wafer Handling End Effector มุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์แขนหุ่นยนต์จัดการ Wafer ที่ยอดเยี่ยมและบริการที่ดีที่สุดแก่ลูกค้าเสมอ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในด้านผลิตภัณฑ์เครื่องมือจัดการเวเฟอร์
Wafer Handling End Effector เป็นแขนหุ่นยนต์ประเภทหนึ่งที่ออกแบบมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะ ซึ่งมักใช้ในการจัดการและถ่ายโอนเวเฟอร์- สภาพแวดล้อมการผลิตเวเฟอร์ต้องการความสะอาดที่สูงมาก เนื่องจากอนุภาคหรือสารปนเปื้อนขนาดเล็กอาจทำให้เศษเสียหายระหว่างการประมวลผลได้ วัสดุเซรามิกมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตมือเหล่านี้เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ดีเยี่ยม
เมื่อเทียบกับวัสดุโลหะแบบดั้งเดิม ข้อดีของเซรามิกส์ในวัสดุส่วนใหญ่จะสะท้อนให้เห็นในด้านต่อไปนี้:
-ความต้านทานการกัดกร่อน: เวเฟอร์สัมผัสกับสารเคมีหลายชนิดในระหว่างกระบวนการผลิต และวัสดุเซรามิกสามารถต้านทานการกัดกร่อนได้อย่างมีประสิทธิภาพและรับประกันการใช้งานอุปกรณ์ในระยะยาว
-ปล่อยอนุภาคต่ำ: เนื่องจากเซรามิกมีการปล่อยอนุภาคต่ำมาก จึงแทบจะไม่ผลิตอนุภาคในระหว่างกระบวนการจัดการ จึงช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนกับแผ่นเวเฟอร์
-ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดี: ในบางกระบวนการ จำเป็นต้องจัดการเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง และหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ของวัสดุเซรามิกที่มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงช่วยให้สามารถปรับตัวเข้ากับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเหล่านี้ได้
-ฉนวนไฟฟ้า: เซรามิกเป็นฉนวนไฟฟ้าตามธรรมชาติ ซึ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการแปรรูปที่เกี่ยวข้องกับกระแสไฟฟ้า และสามารถป้องกันไฟฟ้าสถิตไม่ให้ส่งผลกระทบต่อเวเฟอร์
อุปกรณ์ขนถ่ายเวเฟอร์แบบทั่วไปทำจากอะลูมิเนียม VetekSemi Wafer Handling SiC Boat ที่ทำจาก SiC มีข้อดีหลายประการ SiC ขึ้นชื่อในด้านความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม และความต้านทานการกัดกร่อน คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เป็นวัสดุในอุดมคติสำหรับแขนหุ่นยนต์จับแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งความสะอาด ความแม่นยำ และความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งสำคัญ
ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง ขนาดของเวเฟอร์จึงค่อยๆ เพิ่มขึ้น ซึ่งทำให้มีข้อกำหนดที่สูงขึ้นสำหรับการออกแบบและการผลิต Wafer Handling End Effector ในอนาคต ด้วยการปรับปรุงเทคโนโลยีอัตโนมัติ ความแม่นยำ ความเร็ว และความน่าเชื่อถือของ End Effector สำหรับการจัดการ Wafer จะยังคงปรับปรุงต่อไป
ในฐานะหนึ่งในอุปกรณ์หลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หุ่นยนต์ขนถ่ายแผ่นเวเฟอร์ครองตำแหน่งที่สำคัญในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีความสะอาดสูง ทนทานต่อการกัดกร่อน และมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง VeTek Semiconductor สามารถจัดหาผลิตภัณฑ์ Wafer Handling End Effector ที่ปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้า รวมถึงบริการหลังการขายและหลังการขาย และหวังว่าจะได้รับคำปรึกษาจากคุณ
VeTekSemเอฟเฟกต์ปลายการจัดการเวเฟอร์: