> สินค้า > การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

สินค้า

สินค้าใหม่

จีน การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

เซมิคอนดักเตอร์ VeTek เป็นผู้ผลิตชั้นนำด้านวัสดุเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์หลักที่เรานำเสนอ ได้แก่ ชิ้นส่วนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ CVD ชิ้นส่วนเคลือบ TaC เผาผนึกสำหรับการเจริญเติบโตของผลึก SiC หรือกระบวนการ epitaxy ของเซมิคอนดักเตอร์ ผ่าน ISO9001 VeTek Semiconductor มีการควบคุมคุณภาพที่ดี VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะเป็นผู้ริเริ่มในอุตสาหกรรมการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ผ่านการวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีที่ทำซ้ำอย่างต่อเนื่อง

สินค้าหลักได้แก่แหวนแปรสภาพแทนทาลัมคาร์ไบด์, แหวนเปลี่ยนทิศทางเคลือบ TaC, ชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนเคลือบ TaC, จานหมุนดาวเคราะห์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (Aixtron G10), เบ้าหลอมเคลือบ TaC; แหวนเคลือบ TaC; กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบ TaC; ตัวรับกราไฟท์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์; แหวนนำเคลือบ TaC; แผ่นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ TaC; ตัวรับเวเฟอร์เคลือบ TaC; แหวนเคลือบ TaC; ฝาครอบกราไฟท์เคลือบ TaC; แทซี ก้อนเคลือบฯลฯ ความบริสุทธิ์ต่ำกว่า 5ppm สามารถตอบสนองความต้องการของลูกค้าได้

กราไฟท์ที่เคลือบ TaC ถูกสร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์ ข้อดีดังแสดงไว้ในภาพด้านล่าง:

Excellent properties of TaC coating graphite

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ได้รับความสนใจเนื่องจากมีจุดหลอมเหลวสูงถึง 3880°C มีความแข็งแรงเชิงกล ความแข็ง และความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจสำหรับกระบวนการ epitaxy สารกึ่งตัวนำแบบผสมที่มีความต้องการอุณหภูมิที่สูงขึ้น เช่น ระบบ Aixtron MOCVD และกระบวนการ epitaxy LPE SiC นอกจากนี้ยังมีการใช้งานอย่างกว้างขวางในกระบวนการเติบโตผลึก SiC วิธี PVT

คุณสมบัติที่สำคัญ:

ความเสถียรของอุณหภูมิ

มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ

ความต้านทานต่อ H2, NH3, SiH4, Si

ความต้านทานต่อสต็อกความร้อน

การยึดเกาะที่แข็งแกร่งกับกราไฟท์

ความคุ้มครองการเคลือบตามแบบฉบับ

● ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 750 มม.(ผู้ผลิตรายเดียวในจีนถึงขนาดนี้)

การใช้งาน:

ผู้ให้บริการเวเฟอร์

● ตัวรับความร้อนแบบเหนี่ยวนำ

● องค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน

● แผ่นกันความร้อน

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) บนหน้าตัดด้วยกล้องจุลทรรศน์:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

พารามิเตอร์ของการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ VeTek Semiconductor:

คุณสมบัติทางกายภาพของการเคลือบ TaC
ความหนาแน่น	14.3 (ก./ซม.)
การแผ่รังสีจำเพาะ	0.3
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน	6.3 10^-6/ก
ความแข็ง (ฮ่องกง)	2000 ฮ่องกง
ความต้านทาน	1×10^-5โอห์ม*ซม
เสถียรภาพทางความร้อน	<2500 ℃
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์	-10~-20um
ความหนาของการเคลือบ	≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um)

ข้อมูล EDX ของการเคลือบ TaC：

EDX data of TaC coating

ข้อมูลโครงสร้างผลึกเคลือบ TaC:

องค์ประกอบ	เปอร์เซ็นต์อะตอม
	พ.ต. 1	พ.ต. 2	พ.ต. 3	เฉลี่ย
ซีเค	52.10	57.41	52.37	53.96
พวกเขา	47.90	42.59	47.63	46.04

หัวจับเคลือบ TaC TaC เคลือบจานดาวเคราะห์ แผ่นเคลือบแทซี แผ่นหมุนเคลือบ TaC ตัวรับการเคลือบ TaC ฝาครอบเคลือบ CVD TaC แหวนเคลือบ CVD TaC แผ่นเคลือบแทซี

View as

อะไหล่เคลือบแทค

VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตมืออาชีพของแผ่นเคลือบ TaC และชิ้นส่วนอะไหล่เคลือบ TaC อื่นๆ ในประเทศจีน ปัจจุบันการเคลือบ TaC ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น การเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ (วิธี PVT), ดิสก์ epitaxis (รวมถึง epitaxy ของซิลิคอนคาร์ไบด์, epitaxy LED) เป็นต้น เมื่อรวมกับความเสถียรในระยะยาวที่ดีของแผ่นเคลือบ TaC, VeTek Semiconductor TaC แผ่นเคลือบกลายเป็นเกณฑ์มาตรฐานสำหรับชิ้นส่วนอะไหล่เคลือบ TaC เราหวังว่าคุณจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของเรา

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

GaN บนตัวรับ SiC epi

VeTek Semiconductor คือผู้ผลิต GaN บน SiC epi susceptor, การเคลือบ CVD SiC และ CVD TAC COATING กราไฟท์ susceptor ในประเทศจีน ในหมู่พวกเขา GaN บน SiC epi susceptor มีบทบาทสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความสามารถในการแปรรูปที่อุณหภูมิสูง และความเสถียรทางเคมี ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพและคุณภาพวัสดุสูงของกระบวนการเติบโต epitaxis ของ GaN เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้รับคำปรึกษาเพิ่มเติมจากคุณ

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

ตัวพาการเคลือบ CVD TaC

ตัวพาการเคลือบ CVD TaC ของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาเพื่อกระบวนการเอพิแทกเซียลของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นหลัก จุดหลอมเหลวสูงพิเศษของตัวพาการเคลือบ CVD TaC ความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม และความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่นเป็นตัวกำหนดความสามารถที่ขาดไม่ได้ของผลิตภัณฑ์นี้ในกระบวนการ epitaxial ของเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งที่จะสร้างความสัมพันธ์ทางธุรกิจระยะยาวกับคุณ

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

แหวนไกด์การเคลือบ TaC

แหวนนำทางการเคลือบ TaC ของ VeTek Semiconductor สร้างขึ้นโดยการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์บนชิ้นส่วนกราไฟท์โดยใช้เทคนิคขั้นสูงที่เรียกว่าการสะสมไอสารเคมี (CVD) วิธีการนี้เป็นที่ยอมรับกันดีอยู่แล้วและมีคุณสมบัติการเคลือบที่ยอดเยี่ยม การใช้วงแหวนนำทางการเคลือบ TaC จะช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ได้อย่างมาก สามารถระงับการเคลื่อนที่ของสารเจือปนของกราไฟท์ได้ และยังสามารถรักษาคุณภาพของผลึกเดี่ยว SiC และ AIN ได้อย่างน่าเชื่อถือ ยินดีต้อนรับสู่การสอบถามเรา

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

ตัวรับกราไฟท์เคลือบ TaC

ตัวรับกราไฟท์เคลือบ TaC ของ VeTek Semiconductor ใช้วิธีการสะสมไอสารเคมี (CVD) เพื่อเตรียมการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์บนพื้นผิวของชิ้นส่วนกราไฟท์ กระบวนการนี้มีความเป็นผู้ใหญ่มากที่สุดและมีคุณสมบัติการเคลือบที่ดีที่สุด ตัวรับกราไฟท์เคลือบ TaC สามารถยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ ยับยั้งการเคลื่อนตัวของสารเจือปนของกราไฟท์ และรับประกันคุณภาพของเอพิแทกซี VeTek Semiconductor รอคอยที่จะตอบคำถามของคุณ

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

ตัวรับการเคลือบ TaC

VeTek Semiconductor ขอนำเสนอ TaC Coating Susceptor ด้วยการเคลือบ TaC ที่ยอดเยี่ยม Susceptor นี้นำเสนอข้อได้เปรียบมากมายที่ทำให้แตกต่างจากโซลูชันทั่วไป การบูรณาการเข้ากับระบบที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น TaC Coating Susceptor จาก VeTek Semiconductor รับประกันความเข้ากันได้และการทำงานที่มีประสิทธิภาพ ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และการเคลือบ TaC คุณภาพสูงให้ผลลัพธ์ที่ยอดเยี่ยมอย่างต่อเนื่องในกระบวนการ epitaxy SiC เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ และหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

อ่านเพิ่มเติม ส่งคำถาม

<...2 3 4 5 6...9 >

ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ มืออาชีพในประเทศจีน เรามีโรงงานของเราเอง ไม่ว่าคุณจะต้องการบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะของภูมิภาคของคุณ หรือต้องการซื้อ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ ที่ทันสมัยและทนทานที่ผลิตในจีน คุณสามารถฝากข้อความถึงเราได้