อะไหล่เคลือบแทค

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์แผ่นเคลือบแทซีเป็นวัสดุพิเศษที่นิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์กระบวนการผลิต เมื่อรวมกับความแข็งสูงและความต้านทานการสึกหรอ ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ และการนำความร้อนที่ดี แผ่นเคลือบ TaC มีบทบาทที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในการเชื่อมโยงหลายขั้นตอนของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

โดยทั่วไปแล้วการใช้งานของแผ่นเคลือบ TaCในการประมวลผลสารกึ่งตัวนำมีดังนี้:

สารตั้งต้นการเจริญเติบโต CVD/ALD: ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง ความเสถียรทางเคมี และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TaC ทำให้เป็นซับสเตรตการเจริญเติบโต CVD/ALD ในอุดมคติ สามารถสร้างสภาพแวดล้อมการเติบโตที่มั่นคงเพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความหนาแน่นของฟิล์ม

แผ่นมาส์กแกะสลัก: ความแข็งและความต้านทานการกัดกร่อนสูงของแผ่นเคลือบ TaC ช่วยให้สามารถทนต่อกระบวนการที่ใช้พลังงานสูง เช่น การกัดด้วยพลาสม่า เช่นเดียวกับการกัดแผ่นหน้ากาก เพื่อปกป้องฟิล์มที่อยู่ด้านล่าง

แผ่นขัดเงา CMP: ความต้านทานการสึกหรอและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TaC ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับแผ่นขัด CMP ซึ่งสามารถขจัดอนุภาคและข้อบกพร่องบนพื้นผิวของฟิล์มได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ท่อเตาอุณหภูมิสูง: ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนของแผ่นเคลือบ TaC ช่วยให้สามารถใช้เป็นท่อเตาเผาในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงสำหรับการอบอ่อน การแพร่กระจาย และกระบวนการอื่น ๆ ที่อุณหภูมิสูง

ผสมผสานกับลักษณะผลิตภัณฑ์ของแผ่นเคลือบแทซีโดยกำหนดว่าผลิตภัณฑ์นี้มีบทบาทสำคัญในการปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ ยืดอายุอุปกรณ์ และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต 

ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพของGaN บนตัวรับ SiC epi, กราไฟท์ที่มีรูพรุนและแผ่นเคลือบแทซีในประเทศจีน VeTek Semiconductor ยืนกรานในการให้บริการผลิตภัณฑ์ที่ปรับแต่งตามความต้องการเสมอ และมุ่งมั่นที่จะมอบเทคโนโลยีและโซลูชั่นผลิตภัณฑ์ชั้นยอดให้กับอุตสาหกรรม เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้รับคำปรึกษาเพิ่มเติมจากคุณ

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของการเคลือบ CVD TAC：

ร้านอะไหล่แทคโค้ทติ้ง：

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์：