รองรับการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

หน้าที่หลักของ VeTek Semiconductorการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC)การสนับสนุนคือการปรับปรุงทนความร้อน ทนต่อการสึกหรอ และทนต่อการกัดกร่อนของพื้นผิวโดยการเคลือบชั้นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์เพื่อปรับปรุงความแม่นยำและความน่าเชื่อถือของกระบวนการและยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบ เป็นผลิตภัณฑ์เคลือบประสิทธิภาพสูงที่ใช้ในด้านการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์

ตัวเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ของ VeTek Semiconductor มีความแข็ง Mohs เกือบ 9~10 รองจากเพชรเท่านั้น มีความทนทานต่อการสึกหรอสูงเป็นพิเศษ และสามารถต้านทานการสึกหรอของพื้นผิวและการกระแทกระหว่างการประมวลผลได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อรวมกับจุดหลอมเหลวที่สูงประมาณ 3880°C จึงมักจะใช้สำหรับการเคลือบส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น การเคลือบผิวของโครงสร้างรองรับ อุปกรณ์รักษาความร้อน ห้องหรือปะเก็นในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เพื่อเพิ่มความต้านทานการสึกหรอและอุณหภูมิสูง ความต้านทาน.

เนื่องจากแทนทาลัมคาร์ไบด์มีจุดหลอมเหลวที่สูงมากประมาณ 3880°C ในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ เช่นการสะสมไอสารเคมี (CVD)และการสะสมไอทางกายภาพ (PVD), การเคลือบ TaC ที่ทนต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนของสารเคมีสามารถปกป้องส่วนประกอบของอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และป้องกันการกัดกร่อนหรือความเสียหายต่อซับสเตรตในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ให้การปกป้องที่มีประสิทธิภาพสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงในการผลิตเวเฟอร์ คุณลักษณะนี้ยังกำหนดว่าตัวรองรับการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ของ VeTek Semiconductor มักใช้ในกระบวนการกัดกร่อนและการกัดกร่อน

ส่วนรองรับการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ยังมีหน้าที่ลดการปนเปื้อนของอนุภาคอีกด้วย ในระหว่างการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ การสึกหรอของพื้นผิวมักจะทำให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค ซึ่งส่งผลต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ของแผ่นเวเฟอร์ คุณลักษณะเฉพาะของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดยอดของ TaC Coating ที่มีความแข็งใกล้เคียง 9-10 Mohs สามารถลดการสึกหรอนี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงช่วยลดการสร้างอนุภาค เมื่อใช้ร่วมกับการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมของ TaC Coating (ประมาณ 21 W/m·K) ก็สามารถรักษาค่าการนำความร้อนได้ดีภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูง จึงช่วยเพิ่มผลผลิตและความสม่ำเสมอของการผลิตแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมาก

ผลิตภัณฑ์เคลือบ TaC หลักของ VeTek Semiconductor ได้แก่เครื่องทำความร้อนเคลือบ TaC, ถ้วยใส่ตัวอย่างเคลือบ CVD TaC, ตัวรับการหมุนของการเคลือบ TaCและอะไหล่เคลือบแทคฯลฯ และสนับสนุนบริการผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง VeTek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่ยอดเยี่ยมและโซลูชันทางเทคนิคสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) บนหน้าตัดด้วยกล้องจุลทรรศน์:

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD TaC：