การเคลือบคาร์ไบด์ที่เป็นเอกลักษณ์ของ VeTek Semiconductor ให้การปกป้องที่เหนือกว่าสำหรับชิ้นส่วนกราไฟท์ในกระบวนการ SiC Epitaxy สำหรับการประมวลผลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คอมโพสิตที่มีความต้องการสูง ผลลัพธ์ที่ได้คือยืดอายุของส่วนประกอบกราไฟท์ การคงปริมาณสารสัมพันธ์ของปฏิกิริยา การยับยั้งการย้ายสิ่งเจือปนไปยังอีพิแทกซีและการเจริญเติบโตของผลึก ส่งผลให้ผลผลิตและคุณภาพเพิ่มขึ้น
การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ของเราช่วยปกป้องเตาเผาที่สำคัญและส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่อุณหภูมิสูง (สูงถึง 2200°C) จากแอมโมเนียร้อน ไฮโดรเจน ไอระเหยของซิลิคอน และโลหะหลอมเหลว VeTek Semiconductor มีความสามารถในการประมวลผลและการวัดกราไฟท์ที่หลากหลาย เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของคุณ ดังนั้นเราจึงนำเสนอการเคลือบแบบเสียค่าธรรมเนียมหรือบริการเต็มรูปแบบ พร้อมทีมวิศวกรผู้เชี่ยวชาญของเราที่พร้อมจะออกแบบโซลูชันที่เหมาะสมสำหรับคุณและการใช้งานเฉพาะของคุณ .
ผลึกสารกึ่งตัวนำแบบผสม
VeTek Semiconductor สามารถจัดเตรียมการเคลือบ TaC พิเศษสำหรับส่วนประกอบและตัวพาต่างๆ ด้วยกระบวนการเคลือบชั้นนำในอุตสาหกรรมของ VeTek Semiconductor การเคลือบ TaC จึงมีความบริสุทธิ์สูง มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง และทนทานต่อสารเคมีสูง ดังนั้นจึงปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์ของคริสตัล TaC/GaN) และชั้น EPl และยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่สำคัญ
ฉนวนความร้อน
ส่วนประกอบการเติบโตของผลึก SiC, GaN และ AlN รวมถึงถ้วยใส่ตัวอย่าง ที่ยึดเมล็ด ตัวเบี่ยง และตัวกรอง ส่วนประกอบทางอุตสาหกรรม รวมถึงองค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน หัวฉีด วงแหวนป้องกัน และอุปกรณ์จับยึด ส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ CVD แบบเอพิเทเชียล GaN และ SiC รวมถึงตัวพาแผ่นเวเฟอร์ ถาดดาวเทียม หัวฝักบัว ฝาครอบและแท่น ส่วนประกอบ MOCVD
LED (ไดโอดเปล่งแสง) ตัวพาเวเฟอร์
เครื่องรับ ALD (เซมิคอนดักเตอร์)
ตัวรับ EPI (กระบวนการ SiC Epitaxy)
ตัวรับสัญญาณดาวเทียมเคลือบ TaC TaC เคลือบ Susceptor&Ring ชิ้นส่วนเคลือบ TaC ชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนพร้อมการเคลือบ TaC
ซิซี | แทค | |
คุณสมบัติหลัก | มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ต้านทานพลาสม่าได้ดีเยี่ยม | เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม (สอดคล้องกับกระบวนการที่อุณหภูมิสูง) |
ความบริสุทธิ์ | >99.9999% | >99.9999% |
ความหนาแน่น (กรัม/ซม.3) | 3.21 | 15 |
ความแข็ง (กก./มม.2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
ความต้านทาน [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
ค่าการนำความร้อน (W/mK) | 200-360 | 22 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (10-6 / ℃) | 4.5-5 | 6.3 |
แอปพลิเคชัน | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ จิ๊กเซรามิก (แหวนโฟกัส, หัวฝักบัว, เวเฟอร์จำลอง) | SiC การเติบโตของผลึกเดี่ยว, Epi, ชิ้นส่วนอุปกรณ์ UV LED |
VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตชั้นนำและผู้ริเริ่มฝาครอบเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ในประเทศจีน เรามุ่งเน้นที่การจัดหาผลิตภัณฑ์แทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและทนทานต่ออุณหภูมิสูง ฝาครอบเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ของเรามีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยม และสามารถปกป้องวัสดุได้อย่างมีประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามTaC Coated Deflector Ring ของ VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบเฉพาะทางสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการเจริญเติบโตของผลึก SiC การเคลือบ TaC ให้ความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความเฉื่อยของสารเคมีได้ดีเยี่ยม เพื่อรับมือกับอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในระหว่างกระบวนการเติบโตของผลึก ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่มั่นคงและอายุการใช้งานที่ยาวนานของส่วนประกอบ ช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนและการหยุดทำงาน เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้และหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นวงแหวนเคลือบ TaC ขนาดใหญ่สำหรับผู้ผลิตเครื่องปฏิกรณ์ SiC Epitaxial Reactor และผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความบริสุทธิ์สูง มีเสถียรภาพสูง ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม มีความแข็งแรงพันธะสูง เรามอง มุ่งหน้าสู่การเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ขนาดใหญ่สำหรับผู้ผลิต LPE และผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเราสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงกว่า 2,000 องศาเซลเซียส ช่วยยืดอายุการใช้งานของวัสดุสิ้นเปลือง เรามองไปข้างหน้า เพื่อเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตดิสก์หมุนดาวเคราะห์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบเซรามิกเป็นเวลาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความบริสุทธิ์สูงและทนต่ออุณหภูมิสูง เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณใน จีน.
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม