การเคลือบคาร์ไบด์ที่เป็นเอกลักษณ์ของ VeTek Semiconductor ให้การปกป้องที่เหนือกว่าสำหรับชิ้นส่วนกราไฟท์ในกระบวนการ SiC Epitaxy สำหรับการประมวลผลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คอมโพสิตที่มีความต้องการสูง ผลลัพธ์ที่ได้คือยืดอายุของส่วนประกอบกราไฟท์ การคงปริมาณสารสัมพันธ์ของปฏิกิริยา การยับยั้งการย้ายสิ่งเจือปนไปยังอีพิแทกซีและการเจริญเติบโตของผลึก ส่งผลให้ผลผลิตและคุณภาพเพิ่มขึ้น
การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ของเราช่วยปกป้องเตาเผาที่สำคัญและส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่อุณหภูมิสูง (สูงถึง 2200°C) จากแอมโมเนียร้อน ไฮโดรเจน ไอระเหยของซิลิคอน และโลหะหลอมเหลว VeTek Semiconductor มีความสามารถในการประมวลผลและการวัดกราไฟท์ที่หลากหลาย เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของคุณ ดังนั้นเราจึงนำเสนอการเคลือบแบบเสียค่าธรรมเนียมหรือบริการเต็มรูปแบบ พร้อมทีมวิศวกรผู้เชี่ยวชาญของเราที่พร้อมจะออกแบบโซลูชันที่เหมาะสมสำหรับคุณและการใช้งานเฉพาะของคุณ .
ผลึกสารกึ่งตัวนำแบบผสม
VeTek Semiconductor สามารถจัดเตรียมการเคลือบ TaC พิเศษสำหรับส่วนประกอบและตัวพาต่างๆ ด้วยกระบวนการเคลือบชั้นนำในอุตสาหกรรมของ VeTek Semiconductor การเคลือบ TaC จึงมีความบริสุทธิ์สูง มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง และทนทานต่อสารเคมีสูง ดังนั้นจึงปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์ของคริสตัล TaC/GaN) และชั้น EPl และยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่สำคัญ
ฉนวนความร้อน
ส่วนประกอบการเติบโตของผลึก SiC, GaN และ AlN รวมถึงถ้วยใส่ตัวอย่าง ที่ยึดเมล็ด ตัวเบี่ยง และตัวกรอง ส่วนประกอบทางอุตสาหกรรม รวมถึงองค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน หัวฉีด วงแหวนป้องกัน และอุปกรณ์จับยึด ส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ CVD แบบเอพิเทเชียล GaN และ SiC รวมถึงตัวพาแผ่นเวเฟอร์ ถาดดาวเทียม หัวฝักบัว ฝาครอบและแท่น ส่วนประกอบ MOCVD
LED (ไดโอดเปล่งแสง) ตัวพาเวเฟอร์
เครื่องรับ ALD (เซมิคอนดักเตอร์)
ตัวรับ EPI (กระบวนการ SiC Epitaxy)
ตัวรับสัญญาณดาวเทียมเคลือบ TaC TaC เคลือบ Susceptor&Ring ชิ้นส่วนเคลือบ TaC ชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนพร้อมการเคลือบ TaC
ซิซี | แทค | |
คุณสมบัติหลัก | มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ต้านทานพลาสม่าได้ดีเยี่ยม | เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม (สอดคล้องกับกระบวนการที่อุณหภูมิสูง) |
ความบริสุทธิ์ | >99.9999% | >99.9999% |
ความหนาแน่น (กรัม/ซม.3) | 3.21 | 15 |
ความแข็ง (กก./มม.2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
ความต้านทาน [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
ค่าการนำความร้อน (W/mK) | 200-360 | 22 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (10-6 / ℃) | 4.5-5 | 6.3 |
แอปพลิเคชัน | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ จิ๊กเซรามิก (แหวนโฟกัส, หัวฝักบัว, เวเฟอร์จำลอง) | SiC การเติบโตของผลึกเดี่ยว, Epi, ชิ้นส่วนอุปกรณ์ UV LED |
VeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตแหวนสามกลีบเคลือบ TaC ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC และ SiC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานการกัดกร่อน มีความแข็งแรงสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตหัวจับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความบริสุทธิ์สูงและทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 2,000 ℃ เราหวังว่าจะเป็นระยะยาวของคุณ พันธมิตรในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตฝาครอบเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ชั้นนำและผู้ริเริ่มในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในการเคลือบ TaC และ SiC มาหลายปี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานการกัดกร่อน มีความแข็งแรงสูง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ชั้นนำของ Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon ที่ปรับแต่งเองในประเทศจีน โดยเชี่ยวชาญด้านวัสดุขั้นสูงมาเป็นเวลาหลายปี ฮาล์ฟมูนโลเวอร์กราไฟท์บริสุทธิ์พิเศษของเราได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับอุปกรณ์ SiC เอพิเทเชียล ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม ผลิตจากกราไฟท์นำเข้าบริสุทธิ์พิเศษ จึงให้ความน่าเชื่อถือและความทนทาน เยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีนเพื่อสำรวจ Halfmoon ตอนล่างของกราไฟท์บริสุทธิ์พิเศษคุณภาพสูงโดยตรง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ชั้นนำด้านการเคลือบ SiC Upper Halfmoon Part ที่ปรับแต่งเองในประเทศจีน โดยเชี่ยวชาญด้านวัสดุขั้นสูงมานานกว่า 20 ปี ส่วนที่เคลือบ SiC ส่วนบนของ Halfmoon ของ VeTek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ SiC epitaxial ซึ่งทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในห้องปฏิกิริยา ผลิตจากกราไฟท์เกรดเซมิคอนดักเตอร์บริสุทธิ์พิเศษ จึงมั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม เราขอเชิญคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor คือซัพพลายเออร์ผู้ให้บริการเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy แบบปรับแต่งได้ชั้นนำในประเทศจีน เรามีความเชี่ยวชาญในด้านวัสดุขั้นสูงมากว่า 20 ปี เราขอนำเสนอผู้ให้บริการเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy สำหรับการบรรทุกซับสเตรต SiC ซึ่งเพิ่มชั้น Epitaxy ของ SiC ในเครื่องปฏิกรณ์แบบ Epitaxis ของ SiC ตัวพาเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Epitaxy นี้เป็นชิ้นส่วนเคลือบ SiC ที่สำคัญของชิ้นส่วนฮาล์ฟมูน ทนต่ออุณหภูมิสูง ต้านทานออกซิเดชัน ต้านทานการสึกหรอ เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม