การเคลือบคาร์ไบด์ที่เป็นเอกลักษณ์ของ VeTek Semiconductor ให้การปกป้องที่เหนือกว่าสำหรับชิ้นส่วนกราไฟท์ในกระบวนการ SiC Epitaxy สำหรับการประมวลผลของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คอมโพสิตที่มีความต้องการสูง ผลลัพธ์ที่ได้คือยืดอายุของส่วนประกอบกราไฟท์ การคงปริมาณสารสัมพันธ์ของปฏิกิริยา การยับยั้งการย้ายสิ่งเจือปนไปยังอีพิแทกซีและการเจริญเติบโตของผลึก ส่งผลให้ผลผลิตและคุณภาพเพิ่มขึ้น
การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ของเราช่วยปกป้องเตาเผาที่สำคัญและส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่อุณหภูมิสูง (สูงถึง 2200°C) จากแอมโมเนียร้อน ไฮโดรเจน ไอระเหยของซิลิคอน และโลหะหลอมเหลว VeTek Semiconductor มีความสามารถในการประมวลผลและการวัดกราไฟท์ที่หลากหลาย เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของคุณ ดังนั้นเราจึงนำเสนอการเคลือบแบบเสียค่าธรรมเนียมหรือบริการเต็มรูปแบบ พร้อมทีมวิศวกรผู้เชี่ยวชาญของเราที่พร้อมจะออกแบบโซลูชันที่เหมาะสมสำหรับคุณและการใช้งานเฉพาะของคุณ .
ผลึกสารกึ่งตัวนำแบบผสม
VeTek Semiconductor สามารถจัดเตรียมการเคลือบ TaC พิเศษสำหรับส่วนประกอบและตัวพาต่างๆ ด้วยกระบวนการเคลือบชั้นนำในอุตสาหกรรมของ VeTek Semiconductor การเคลือบ TaC จึงมีความบริสุทธิ์สูง มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง และทนทานต่อสารเคมีสูง ดังนั้นจึงปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์ของคริสตัล TaC/GaN) และชั้น EPl และยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่สำคัญ
ฉนวนความร้อน
ส่วนประกอบการเติบโตของผลึก SiC, GaN และ AlN รวมถึงถ้วยใส่ตัวอย่าง ที่ยึดเมล็ด ตัวเบี่ยง และตัวกรอง ส่วนประกอบทางอุตสาหกรรม รวมถึงองค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน หัวฉีด วงแหวนป้องกัน และอุปกรณ์จับยึด ส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ CVD แบบเอพิเทเชียล GaN และ SiC รวมถึงตัวพาแผ่นเวเฟอร์ ถาดดาวเทียม หัวฝักบัว ฝาครอบและแท่น ส่วนประกอบ MOCVD
LED (ไดโอดเปล่งแสง) ตัวพาเวเฟอร์
เครื่องรับ ALD (เซมิคอนดักเตอร์)
ตัวรับ EPI (กระบวนการ SiC Epitaxy)
ตัวรับสัญญาณดาวเทียมเคลือบ TaC TaC เคลือบ Susceptor&Ring ชิ้นส่วนเคลือบ TaC ชิ้นส่วนฮาล์ฟมูนพร้อมการเคลือบ TaC
ซิซี | แทค | |
คุณสมบัติหลัก | มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ต้านทานพลาสม่าได้ดีเยี่ยม | เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม (สอดคล้องกับกระบวนการที่อุณหภูมิสูง) |
ความบริสุทธิ์ | >99.9999% | >99.9999% |
ความหนาแน่น (กรัม/ซม.3) | 3.21 | 15 |
ความแข็ง (กก./มม.2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
ความต้านทาน [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
ค่าการนำความร้อน (W/mK) | 200-360 | 22 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (10-6 / ℃) | 4.5-5 | 6.3 |
แอปพลิเคชัน | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ จิ๊กเซรามิก (แหวนโฟกัส, หัวฝักบัว, เวเฟอร์จำลอง) | SiC การเติบโตของผลึกเดี่ยว, Epi, ชิ้นส่วนอุปกรณ์ UV LED |
ฝาครอบเคลือบ CVD TaC จาก VeTek Semiconductor เป็นส่วนประกอบพิเศษสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานที่มีความต้องการสูง ด้วยคุณสมบัติขั้นสูงและประสิทธิภาพที่โดดเด่น ฝาครอบเคลือบ CVD TaC ของเรามีข้อดีที่สำคัญหลายประการ ฝาครอบเคลือบ CVD TaC ของเราให้การป้องกันที่จำเป็นและประสิทธิภาพที่จำเป็นสำหรับความสำเร็จ เรารอคอยที่จะสำรวจความร่วมมือที่เป็นไปได้กับคุณ!
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ที่ยอดเยี่ยมสำหรับอุปกรณ์ epitaxy Aixtron การเคลือบ TaC ที่ทนทานให้ความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความเฉื่อยของสารเคมีได้ดีเยี่ยม การผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์นี้ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และอายุการใช้งานที่ยาวนาน แม้ในสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูง VeTek มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและทำหน้าที่เป็นพันธมิตรระยะยาวในตลาดจีนด้วยราคาที่แข่งขันได้
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นรองรับฐานเคลือบ TaC ของ VeTek Semiconductor เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของกระบวนการ epitaxy ของเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการเคลือบ TaC ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง และความเฉื่อยของสารเคมี ผลิตภัณฑ์ของเราช่วยให้คุณสร้างชั้น EPI คุณภาพสูงและมีคุณภาพสูงได้ เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้และหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับการเคลือบ TaC ของ VeTek Semiconductor โดดเด่นด้วยการเคลือบ TaC คุณภาพสูง ซึ่งเป็นที่รู้จักในด้านความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและความเฉื่อยทางเคมีที่โดดเด่น โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการเอพิแทกซี (EPI) ของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ด้วยคุณสมบัติที่โดดเด่นและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า หัวจับเคลือบ TaC ของเรามีข้อได้เปรียบที่สำคัญหลายประการ เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ และหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามLPE SiC Epi Halfmoon โดย VeTek Semiconductor ผลิตภัณฑ์ปฏิวัติวงการที่ออกแบบมาเพื่อยกระดับกระบวนการ epitaxy SiC ของเครื่องปฏิกรณ์ LPE โซลูชันที่ล้ำสมัยนี้มีคุณสมบัติหลักหลายประการที่รับประกันประสิทธิภาพและประสิทธิผลที่เหนือกว่าตลอดการดำเนินงานการผลิตของคุณ รอคอยที่จะร่วมมือระยะยาวกับคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามVeTek Semiconductor เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ชั้นนำในประเทศจีนสำหรับ Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon เราเชี่ยวชาญในด้าน R&D และการผลิต สามารถควบคุมคุณภาพได้ดีและเสนอราคาที่แข่งขันได้ คุณสามารถเยี่ยมชมโรงงานของเราเพื่อหารือเพิ่มเติมเกี่ยวกับความร่วมมือระยะยาว
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม