หัวจับเคลือบ TaC

หัวจับเคลือบ TaCของ VeTek Semiconductor เป็นโซลูชันที่ดีเยี่ยมสำหรับการบรรลุผลลัพธ์ที่ยอดเยี่ยมในกระบวนการ SiC EPI ด้วยการเคลือบ TaC ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง และความเฉื่อยทางเคมี ผลิตภัณฑ์ของเราช่วยให้คุณผลิตคริสตัลคุณภาพสูงด้วยความแม่นยำและความน่าเชื่อถือ ยินดีต้อนรับสู่การสอบถามเรา

TaC (แทนทาลัมคาร์ไบด์) เป็นวัสดุที่ใช้กันทั่วไปในการเคลือบผิวชิ้นส่วนภายในของอุปกรณ์เอพิแทกเซียล มันมีลักษณะดังต่อไปนี้:

● ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม: การเคลือบ TaC สามารถทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 2,200°C ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เช่น ห้องปฏิกิริยาแบบเอปิเทกเซียล

● มีความแข็งสูง: ความแข็งของ TaC สูงถึงประมาณ 2,000 HK ซึ่งยากกว่าเหล็กกล้าไร้สนิมหรือโลหะผสมอะลูมิเนียมที่ใช้กันทั่วไปมาก ซึ่งสามารถป้องกันการสึกหรอของพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพ

● เสถียรภาพทางเคมีที่แข็งแกร่ง: การเคลือบ TaC ทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนทางเคมี และสามารถยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบอุปกรณ์ epitaxis ได้อย่างมาก

● การนำไฟฟ้าได้ดี: การเคลือบ TaC มีค่าการนำไฟฟ้าที่ดี ซึ่งเอื้อต่อการปล่อยไฟฟ้าสถิตและการนำความร้อน

คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้การเคลือบ TaC เป็นวัสดุในอุดมคติสำหรับการผลิตชิ้นส่วนที่สำคัญ เช่น บุชชิ่งภายใน ผนังห้องปฏิกิริยา และองค์ประกอบความร้อนสำหรับอุปกรณ์เอพิเทเชียล การเคลือบส่วนประกอบเหล่านี้ด้วย TaC จะทำให้ประสิทธิภาพโดยรวมและอายุการใช้งานของอุปกรณ์เอพิแทกเซียลดีขึ้นได้

สำหรับซิลิกอนคาร์ไบด์เอพิแทกซี ก้อนเคลือบ TaC ก็มีบทบาทสำคัญเช่นกัน พื้นผิวของ TaC การเคลือบมีความเรียบและหนาแน่นซึ่งเอื้อต่อการก่อตัวของฟิล์มซิลิกอนคาร์ไบด์คุณภาพสูง ในเวลาเดียวกัน ค่าการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมของ TaC สามารถช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอของการกระจายอุณหภูมิภายในอุปกรณ์ จึงปรับปรุงความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิของกระบวนการเอพิแทกเซียล และบรรลุการเติบโตของชั้นเอพิแอกเซียลซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงขึ้นในที่สุด