กราไฟท์มีรูพรุนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ของ VeTek ได้กลายเป็นผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เนื่องจากมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ (จุดหลอมเหลวประมาณ 3880°C) มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ความแข็งแรงเชิงกล และความเฉื่อยของสารเคมีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง วัสดุที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการเจริญเติบโต โดยเฉพาะอย่างยิ่งโครงสร้างที่มีรูพรุนทำให้ได้เปรียบทางเทคนิคมากมายสำหรับกระบวนการเจริญเติบโตของคริสตัล- 

ต่อไปนี้เป็นการวิเคราะห์โดยละเอียดของกราไฟท์มีรูพรุนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์บทบาทหลัก:

 ปรับปรุงประสิทธิภาพการไหลของก๊าซและควบคุมพารามิเตอร์กระบวนการอย่างแม่นยำ

โครงสร้างพรุนขนาดเล็กของแกรไฟต์ที่มีรูพรุนสามารถส่งเสริมการกระจายตัวของก๊าซปฏิกิริยา (เช่น ก๊าซคาร์ไบด์และไนโตรเจน) อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยปรับบรรยากาศในโซนปฏิกิริยาให้เหมาะสม คุณลักษณะนี้สามารถหลีกเลี่ยงการสะสมก๊าซในท้องถิ่นหรือปัญหาความปั่นป่วนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าผลึก SiC ได้รับความเครียดอย่างสม่ำเสมอตลอดกระบวนการเติบโต และอัตราข้อบกพร่องจะลดลงอย่างมาก ในขณะเดียวกัน โครงสร้างที่มีรูพรุนยังช่วยให้สามารถปรับการไล่ระดับความดันก๊าซได้อย่างแม่นยำ เพิ่มประสิทธิภาพอัตราการเติบโตของคริสตัลให้ดียิ่งขึ้น และปรับปรุงความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์

 ลดการสะสมความเครียดจากความร้อนและปรับปรุงความสมบูรณ์ของคริสตัล

ในการทำงานที่อุณหภูมิสูง คุณสมบัติยืดหยุ่นของ Porous Tantalum Carbide (TaC) ช่วยลดความเข้มข้นของความเครียดจากความร้อนที่เกิดจากความแตกต่างของอุณหภูมิได้อย่างมาก ความสามารถนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการปลูกคริสตัล SiC ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการเกิดรอยแตกร้าวจากความร้อน ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสมบูรณ์ของโครงสร้างผลึกและความเสถียรในการประมวลผล

 ปรับการกระจายความร้อนให้เหมาะสมและปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงาน

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ไม่เพียงแต่ทำให้กราไฟต์มีรูพรุนมีค่าการนำความร้อนสูงขึ้นเท่านั้น แต่คุณลักษณะที่มีรูพรุนของมันยังกระจายความร้อนได้อย่างสม่ำเสมอ ทำให้มั่นใจได้ถึงการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอสูงภายในพื้นที่ที่เกิดปฏิกิริยา การจัดการระบายความร้อนที่สม่ำเสมอนี้เป็นเงื่อนไขหลักในการผลิต SiC Crystal ที่มีความบริสุทธิ์สูง นอกจากนี้ยังสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความร้อนได้อย่างมาก ลดการใช้พลังงาน และทำให้กระบวนการผลิตประหยัดและมีประสิทธิภาพมากขึ้น

 เพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนและยืดอายุส่วนประกอบ

ก๊าซและผลพลอยได้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง (เช่น เฟสไอของไฮโดรเจนหรือซิลิคอนคาร์ไบด์) อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนอย่างรุนแรงต่อวัสดุ การเคลือบ TaC เป็นเกราะป้องกันทางเคมีที่ดีเยี่ยมต่อกราไฟท์ที่มีรูพรุน ซึ่งช่วยลดอัตราการกัดกร่อนของส่วนประกอบได้อย่างมาก จึงช่วยยืดอายุการใช้งาน นอกจากนี้ การเคลือบยังรับประกันความเสถียรในระยะยาวของโครงสร้างที่มีรูพรุน ทำให้มั่นใจได้ว่าคุณสมบัติการขนส่งก๊าซจะไม่ได้รับผลกระทบ

 ป้องกันการแพร่กระจายของสิ่งสกปรกได้อย่างมีประสิทธิภาพและรับประกันความบริสุทธิ์ของคริสตัล

เมทริกซ์กราไฟท์ที่ไม่เคลือบผิวอาจปล่อยสิ่งเจือปนในปริมาณเล็กน้อย และการเคลือบ TaC ทำหน้าที่เป็นตัวกั้นแยกเพื่อป้องกันไม่ให้สิ่งเจือปนเหล่านี้แพร่กระจายไปยังคริสตัล SiC ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เอฟเฟกต์การป้องกันนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการปรับปรุงความบริสุทธิ์ของคริสตัล และช่วยให้เป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับวัสดุ SiC คุณภาพสูง

กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ของ VeTek เซมิคอนดักเตอร์ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการและคุณภาพของคริสตัลได้อย่างมากโดยการปรับการไหลของก๊าซให้เหมาะสม ลดความเครียดจากความร้อน ปรับปรุงความสม่ำเสมอทางความร้อน เพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน และยับยั้งการแพร่กระจายของสิ่งเจือปนในระหว่างกระบวนการ SiC Crystal Growth การใช้วัสดุนี้ไม่เพียงแต่รับประกันความแม่นยำและความบริสุทธิ์สูงในการผลิตเท่านั้น แต่ยังช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานได้อย่างมาก ทำให้เป็นเสาหลักที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

ที่สำคัญกว่านั้น VeTeksemi มีความมุ่งมั่นมาอย่างยาวนานในการนำเสนอเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์โซลูชั่นขั้นสูงให้กับอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และสนับสนุนบริการผลิตภัณฑ์กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งได้ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

คุณสมบัติทางกายภาพของการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์

ร้านผลิตสารกึ่งตัวนำ VeTek แทนทาลัมคาร์ไบด์เคลือบกราไฟท์ที่มีรูพรุน