เซมิคอนดักเตอร์ควอตซ์เบลล์โถ

เมล็ดพืชเซมิคอนดักเตอร์โถระฆังควอตซ์มีบทบาทสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์หลายประการ ที่ ระบบสูญญากาศโถระฆังไม่เพียงแต่ให้สภาพแวดล้อมปฏิกิริยาที่เสถียรและควบคุมได้เท่านั้น แต่ยังรับประกันประสิทธิภาพและความแม่นยำของกระบวนการต่างๆ ด้วยความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความเฉื่อยทางเคมี และความโปร่งใสทางแสง ลักษณะเหล่านี้ยังกำหนดสิ่งนั้นด้วยห้องสูญญากาศระฆังเป็นผลิตภัณฑ์ส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เมล็ดพืชเซมิคอนดักเตอร์ควอตซ์ สร้างสภาพแวดล้อมการประมวลผลแบบปิดผนึกซึ่งช่วยให้ก๊าซในกระบวนการกระจายอย่างสม่ำเสมอและทำปฏิกิริยากับพื้นผิวเวเฟอร์ภายใต้สภาวะควบคุม ดังนั้น,เซมิคอนดักเตอร์ควอตซ์เบลล์โถโดยปกติจะใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น CVD การแพร่กระจายและออกซิเดชัน เพื่อควบคุมองค์ประกอบบรรยากาศและความดันอย่างแม่นยำ ดังนั้นจึงรับประกันความสม่ำเสมอของฟิล์มและความบริสุทธิ์ของวัสดุ

ในเวลาเดียวกัน วัสดุควอตซ์มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ทนต่ออุณหภูมิสูง (สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มักจะสูงถึง 1,000°C หรือมากกว่า) และคุณลักษณะของผลิตภัณฑ์ในการรักษารูปร่างและขนาดที่มั่นคงในระหว่างการทำความร้อนและความเย็น สิ่งนี้กำหนดว่าโถระฆังควอตซ์สามารถรับประกันความสม่ำเสมอของอุณหภูมิพื้นผิวเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงของการแพร่กระจายและออกซิเดชัน ซึ่งจะช่วยปรับปรุงคุณภาพและความสม่ำเสมอของชั้นที่สะสมหรือกระจาย

ที่สำคัญกว่านั้นเมล็ดพืชSemiconductor ควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะทำปฏิกิริยากับก๊าซในกระบวนการในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีความต้านทานการกัดกร่อนสูง คุณลักษณะของผลิตภัณฑ์นี้จะกำหนดว่าในกระบวนการที่ใช้ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน (เช่น กระบวนการ CVD บางอย่าง)เซมิคอนดักเตอร์ควอตซ์เบลล์โถสามารถรักษาเสถียรภาพทางเคมีได้อย่างเต็มที่ จึงหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์โถระฆังควอตซ์:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์: