การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์คืออะไร?

วัสดุเซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) มีจุดหลอมเหลวสูงถึง 3880 ℃ และเป็นสารประกอบที่มีจุดหลอมเหลวสูงและมีเสถียรภาพทางเคมีที่ดี สามารถรักษาประสิทธิภาพที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงได้ นอกจากนี้ ยังมีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และความเข้ากันได้ทางเคมีและทางกลที่ดีกับวัสดุคาร์บอน ทำให้เป็นวัสดุเคลือบป้องกันซับสเตรตกราไฟท์ในอุดมคติ 

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สามารถปกป้องส่วนประกอบกราไฟท์ได้อย่างมีประสิทธิภาพจากผลกระทบของแอมโมเนียร้อน ไฮโดรเจน ไอซิลิคอน และโลหะหลอมเหลวในสภาพแวดล้อมการใช้งานที่รุนแรง ช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ได้อย่างมาก และยับยั้งการเคลื่อนตัวของสิ่งสกปรกในกราไฟท์ ทำให้มั่นใจในคุณภาพของเยื่อบุผิวและการเติบโตของคริสตัล.

รูปที่ 1 ส่วนประกอบเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ทั่วไป

การตกสะสมไอสารเคมี (CVD) เป็นวิธีการที่สมบูรณ์และเหมาะสมที่สุดในการผลิตสารเคลือบ TaC บนพื้นผิวกราไฟท์

การใช้ TaCl5 และโพรพิลีนเป็นแหล่งคาร์บอนและแทนทาลัมตามลำดับ และใช้อาร์กอนเป็นก๊าซพาหะ ไอระเหยของ TaCl5 ที่อุณหภูมิสูงจะถูกนำเข้าไปในห้องปฏิกิริยา ที่อุณหภูมิและความดันเป้าหมาย ไอของสารตั้งต้นจะดูดซับบนพื้นผิวของกราไฟท์ โดยจะเกิดปฏิกิริยาเคมีที่ซับซ้อนหลายอย่าง เช่น การสลายตัวและการรวมกันของแหล่งกำเนิดคาร์บอนและแทนทาลัม ตลอดจนปฏิกิริยาของพื้นผิวหลายอย่าง เช่น การแพร่กระจายและการสลายของ ผลพลอยได้จากสารตั้งต้น ในที่สุด ชั้นป้องกันที่มีความหนาแน่นจะถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวของกราไฟท์ ซึ่งช่วยปกป้องกราไฟท์จากการคงตัวภายใต้สภาพแวดล้อมที่รุนแรง และขยายสถานการณ์การใช้งานของวัสดุกราไฟท์ได้อย่างมาก

รูปที่ 2.หลักกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD)

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่ให้บริการผลิตภัณฑ์แทนทาลัมคาร์ไบด์: แหวนนำทาง TaC, แหวนสามกลีบเคลือบ TaC, เบ้าหลอมเคลือบ TaC, กราไฟท์ที่มีรูพรุนเคลือบ TaC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายคือกระบวนการเจริญเติบโตของผลึก SiC; กราไฟท์ที่มีรูพรุนพร้อมเคลือบ TaC, แหวนนำทางเคลือบ TaC, ตัวพาเวเฟอร์กราไฟท์เคลือบ TaC, ตัวรับการเคลือบ TaC, ตัวรับดาวเคราะห์, ตัวรับดาวเทียมที่เคลือบ TaC และผลิตภัณฑ์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการ epitaxy SiCและกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว SiC.

รูปที่ 3.สัตวแพทย์ผลิตภัณฑ์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ยอดนิยมของ ek Semiconductor