ผู้รับ EPI

VeTek Semiconductor เป็นผู้นำระดับมืออาชีพ China EPI Receiver, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver

ตัวรับ EPI ของ VeTek Semiconductor เป็นองค์ประกอบสำคัญของการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หน้าที่หลักคือการรองรับและให้ความร้อนแก่แผ่นเวเฟอร์ เพื่อให้สามารถปลูกชั้นเอพิเทกเซียลคุณภาพสูงได้อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์

ตัวรับ EPI ของ VeTek Semiconductors มักทำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและเคลือบด้วยชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) การออกแบบนี้มีข้อดีที่สำคัญดังต่อไปนี้:

เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง: ตัวรับ EPI สามารถคงความเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ทำให้มั่นใจได้ถึงการเติบโตที่สม่ำเสมอของชั้นเยื่อบุผิว

ความต้านทานการกัดกร่อน: การเคลือบ SiC มีความทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยมและสามารถต้านทานการกัดเซาะของก๊าซเคมีได้ช่วยยืดอายุการใช้งานของถาด

การนำความร้อน: ค่าการนำความร้อนสูงของวัสดุ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างการทำความร้อน ดังนั้นจึงปรับปรุงคุณภาพของชั้นเอปิแอกเชียล

การจับคู่สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนของ SiC ใกล้เคียงกับค่าสัมประสิทธิ์ของกราไฟท์ เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาการหลุดลอกของสารเคลือบเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวเนื่องจากความร้อน

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของผู้รับ EPI:

ร้านผลิตเคลือบ CVD SiC:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรม epitaxy ชิปเซมิคอนดักเตอร์: